판매용 중고 KLA / TENCOR 7700M Surfscan #9313795
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ID: 9313795
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 1995
Wafer inspection system, 8"
Model no: 313246
Display monitor
Keyboard and trackball
(2) Cassette plates
Wafer transfer robot
Chuck, 8"
JDS UNIPHASE 2214-30SL Laser
Pre-aligner
ADC Board
Motor lamp drive board
Power drawer box
External fan
Exhaust line
Computer:
IDE Control board
SECS Port
CPU Board
CPU Parallel port
Hard Disk Drive (HDD)
PSF Control board
(2) Motor control boards
Interface board
PFE Board
Motor controller board
Power supply: 208 V, 20 A, 60 Hz, 2 Phase
1995 vintage.
KLA/TENCOR 7700M Surfscan은 반도체 산업을 위해 설계된 고성능 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 시스템의 고급 광학 (optical), 이미징 (imaging), 자동 (automated) 측정 기능을 통해 지형 형태뿐만 아니라 웨이퍼의 중요한 매개변수를 신속하게 측정하고 분석할 수 있습니다. KLA 7700M Surfscan 을 사용하면 높은 수준의 정확성과 반복 기능으로 Wafer 를 안정적으로 분석 및 검사할 수 있습니다. TENCOR 7700M Surfscan은 웨퍼 매핑을 위해 특허 스캐닝 메커니즘을 사용합니다. 이 장치는 기계의 스캐닝 스테이지에 수평으로 배열 된 로우 노이즈, 16 비트 선형 CCD 카메라의 선형 배열을 사용합니다. 이러 한 "카메라 '는 산화물 두께 와 같은" 웨이퍼' 의 전기 특성 과 그 지형 을 측정 한다. 이 도구의 고도로 통합 된 기판 자동 초점 기능을 사용하면 초 단위로 정확한 테스트를 할 수 있습니다. 7700M Surfscan은 뛰어난 광학을 가지고 있으며, 웨이퍼 표면 지형을 빠르고 정확한 3D 측정을 할 수 있습니다. 기존의 2D 시스템에 비해 최대 6 배 더 높은 정밀도를 제공하며, 4x 줌 및 5 미크론 픽셀 크기의 진정한 컬러 이미징을 제공합니다. KLA/TENCOR 7700M Surfscan은 웨이퍼 검사 및 패턴 작업을 자동화하는 전문 Software Automation Suite를 사용합니다. 즉, 사용자에게 자산에서 데이터를 보고 제어할 수 있는 단일 입력 지점 (Point of Entry) 을 제공합니다. 이 소프트웨어는 프로세스의 각 단계를 통해 작업을 간소화하고, 운영자를 효율적으로 안내합니다. 또한 이 모델을 돋보이게 하는 것은 Web Automation Server입니다. Web Automation Server에는 데이터베이스 동기화 및 스크립트 실행을 위한 여러 도구가 포함되어 있습니다. 이렇게 하면 장비 내 데이터 관리 관련 소프트웨어와 공장 내 다른 호스트 시스템 (Host System) 과의 원활한 통신이 보장됩니다. KLA 7700M Surfscan은 직관적이고 비용 효율적인 시스템으로, 웨이퍼 테스트 및 도량형 프로젝트에서 향상된 수준의 정확성과 반복 성을 제공 할 수 있습니다. 이 장치는 정교한 스캐닝 옵틱 (Scanning Optics), 자동화된 측정 기능, 사용자 친화적 소프트웨어 (User-Friendly Software) 의 강력한 조합으로 반도체 업계의 웨이퍼 테스트 및 도량형 프로젝트에 이상적인 선택입니다.
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