판매용 중고 KLA / TENCOR 7700M Surfscan #293627336

ID: 293627336
빈티지: 1995
Wafer inspection system, parts machine 1995 vintage.
KLA/TENCOR 7700M Surfscan은 대용량, 높은 복잡성, 고속 집적 회로 생산을 지원하기 위해 설계된 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템은 에지 테스터 및 레티클 테스터, 이미지 검사, 전기 테스트, 비광학 검사 등 모든 자동 측정 기능을 제공합니다. KLA 7700M Surfscan은 정확도가 우수한 여러 웨이퍼 레이어에서 다양한 측정을 수행하도록 설계되었습니다. 이 장치는 고속 통합 레티클 테스터 (reticle tester) 로 다양한 웨이퍼 레이어의 패턴을 검사합니다. 레티클 테스터는 크기가 5nm 인 결함을 감지 할 수 있습니다. "테스터 '의 정확 한 측정 은 장치 구조 를 특징 짓고 프로세스 조건 을 최적화 하기 위한 중요 한" 데이터' 를 제공 할 수 있다. 이 기계는 또한 웨이퍼 모서리를 따라 정확한 측정을위한 최적화 된 에지 테스터 (edge tester) 를 제공합니다. 모서리 테스터는 서피스 불완전성을 감지하고 모서리 프로파일 (edge profile), 서피스 평탄도 (surface flatness) 와 같은 매개변수를 측정 할 수 있습니다. 자동 측정 외에도 TENCOR 7700M Surfscan 도구는 이미지 검사를 제공합니다. 이미지 검사 모듈은 여러 배율에서 웨이퍼 표면의 비접촉 이미지를 제공하며, 미세 입자, 긁힘, 오염을 감지 할 수 있습니다. 자산의 정확성은 고급 이미징 알고리즘과 자동 초점 (automated focusing) 으로 더욱 향상되었습니다. 또한, 이 모델은 장치 대 장치 (device-to-device) 수명 시간 신뢰성, 전류 누출 및 장치의 전기 특성을 평가하는 전기 테스트 기능을 제공합니다. 완료되면, 엔지니어가 더 나은 프로세스를 개발할 수 있도록 상세한 데이터 분석이 제공됩니다. 전체적으로 7700M Surfscan은 최첨단 wafer 테스트 및 도량형 장비로, 복잡하고 고급 집적 회로의 생산을 위해 최첨단 장치 테스트, 검사, 분석을 제공합니다. 이 시스템은 종합적인 자동 측정, 이미지 검사, 분석, 전기 테스트 기능 (Electrical Test 기능) 을 제공하여 웨이퍼 생산의 정확성과 품질을 보장합니다. KLA/TENCOR 7700M Surfscan은 견고한 설계와 높은 정확도를 바탕으로 오늘날의 IC 구성 요구를 충족하는 효율적이고 유연하며 안정적인 솔루션을 제공합니다.
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