판매용 중고 KLA / TENCOR 7700M Surfscan #293627334

ID: 293627334
빈티지: 1996
Wafer inspection system 1996 vintage.
KLA/TENCOR 7700M Surfscan은 장치 제조 공정의 품질을 모니터링 및 제어하는 데 사용되는 고정밀 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템을 사용하면 지형, 프로파일, 중요 치수, 나노스케일 피쳐를 빠르고 정확하게 측정할 수 있습니다. KLA 7700M Surfscan은 스캐닝 전자 현미경 (SEM) 을 사용하여 스텝 웨지, 마스크 패턴 또는 웨이퍼 기판을 스캔합니다. 이 주사 전자 현미경에는 자동 초점, 고전압 공급, x- 선 탐지기, 2 차 전자 탐지기 및 고급 제어 소프트웨어와 같은 고급 기능이 제공됩니다. 이 장치의 고급 이미징 기능은 고해상도 줌 광학 및 강력한 분석 도구 (통계 기능 추출, 결함 분류, 오염 분석, 수율 관리, 3D 시각화, 비디오 측정 등) 로 더욱 보완됩니다. 스캐닝 (scanning) 전자 현미경이 데이터 수집 과정을 완료한 후, TENCOR 7700M Surfscan 기계는 사용자가 데이터를 분석 및 평가하고 필요한 경우 수정 조치를 취할 수 있도록 합니다. 이 이미징 및 분석 데이터는 최적의 에치 속도 결정, 프로세스 개선을위한 프로토콜 개발, 장애 비율 예측, 잠재적 수익률 손실 방지 등을 지원합니다. 또한 7700M 서프 스캔 (Surfscan) 은 프로버 인터페이스 (prober interfacing) 를 위한 자동화된 도구를 제공하여 임계 치수, 지형 및 완전 에칭 회로의 거칠기 등 정확한 측정을 얻을 수 있습니다. 이 자산에는 정확한 3D 스캔 기능을 위한 고성능 카메라와 고급 옵틱도 포함되어 있습니다. KLA/TENCOR 7700M Surfscan은 제조 공정과 통합 도량형 기능에 대한 통찰력을 제공하여 반도체 업계의 품질 모니터링, 추적, 제어를위한 강력하고 안정적인 솔루션을 제공합니다. 이 모델은 사용자가 가장 정확하고 신뢰할 수 있는 분석 데이터를 제공하도록 설계되어, 최고 수준의 품질 표준을 유지하고, 오류 (error) 나 비효율성 (inefficiency) 으로 인한 비용이 많이 드는 재작업, 다운타임, 스크랩, 수익률 손실의 위험을 줄일 수 있습니다.
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