판매용 중고 KLA / TENCOR 7700M Surfscan #293626887

ID: 293626887
빈티지: 1996
Inspection system 1996 vintage.
KLA/TENCOR 7700M Surfscan은 반도체 제조를위한 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템은 CCD 카메라가 장착 된 짧은 파장 스캔 현미경을 사용하여 나노 미터 (sub-nanometer) 정밀도로 장치 표면의 프로파일을 측정합니다. 이 장치는 다양한 확대 (확대) 와 매우 작은 구조의 고해상도 이미징에서 웨이퍼 지형의 고속 이미지를 제공합니다. 정확한 정렬을 위해 기능 감지, 이미지 스티칭, 복잡한 오버레이 측정이 가능합니다. KLA 7700M Surfscan은 사용자에게 다양한 고급 기능을 갖춘 직관적인 GUI (그래픽 사용자 인터페이스) 플랫폼을 제공합니다. 또한 차트, 이미지, 테이블을 표시하여 뷰/측정 설정을 손쉽게 조정하고, 진행 상황을 모니터링하고, 획득한 데이터를 검토할 수 있습니다. 또한 7700M은 Focus-Tilt Correction, Auto-Align Machine 및 Multi-Spectral Imaging과 같은 다양한 도량형 기술을 향상시켜 최고 품질의 결과를 보장합니다. TENCOR 7700M Surfscan은 피쳐 크기와 식별, 평평함, 서피스 거칠기, 컨투어 거칠기 분석 등을 측정 할 수 있습니다. 또한, 에지 검출 및 정렬이 매우 정확하고 정확하므로, 정확한 도량형 응용 프로그램을위한 완벽한 선택입니다. 이 도구는 또한 매우 다재다능하며, 사용자에게 여러 시스템을 연결하여 완전하게 자동화된 웨이퍼 (wafer) 처리 자산을 만들 수 있는 기능을 제공합니다. 이 단일 자동화 모델은 여러 웨이퍼를 동시에 테스트하고 측정하여 처리량을 대폭 늘릴 수 있습니다. 7700M Surfscan 장비는 분석 및 통계 프로세스 제어를 위한 완벽한 툴셋을 제공하며, 온라인 및 오프라인 사용 측정 (생산 등급 전원 특성, 로컬 두께 균일성, 빠른 다이 정렬 점수 포함) 을 제공합니다. KLA/TENCOR 7700M Surfscan은 사용자에게 최고의 정밀도 및 최첨단 분석 기능을 제공하는 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형 시스템입니다. 빠른 이미징, 고해상도 (High-Resolution) 기능 감지, 에지 감지, 복잡한 오버레이 측정이 가능하므로 최고 품질의 정밀 어플리케이션에 적합합니다. 사용자는 여러 시스템을 연결하여 완전하게 자동화된 웨이퍼 처리 장치 (Wafer Handling Unit) 를 만들 수 있으며, 처리량을 높이고 전체 통계 프로세스 제어를 수행할 수 있습니다. 전체적으로 KLA 7700M Surfscan은 모든 반도체 제조 시설에 귀중한 도구 역할을합니다.
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