판매용 중고 KLA / TENCOR 7700 #9377288

KLA/TENCOR 7700 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비는 반도체 장치의 효율적인 테스트 및 도량형을 제공하는 다용도 고성능 시스템입니다. 트랜지스터 구조, 임계 크기, 도펀트 농도, 오염 테스트 등 다양한 장치에 대해 효율적이고 정확한 도량형을 제공하도록 설계되었습니다. 이 장치는 최대 8 개의 챔버로 직경 18 인치까지 웨이퍼를 테스트 할 수 있습니다. KLA 7700 머신은 AWH (Automatic Wafer Handler) 를 통합하여 설계되었으며, 다양한 장치 형상을 효율적이고 안정적으로 테스트할 수 있습니다. 이 툴은 독립 실행형 및 모듈식 구성의 광학 (optical) 및 전기 (electrical) 분석을 포함하여 다양한 테스트 측정을 수용할 수 있습니다. 에셋의 VersaMetric ™ Feature Extractor 소프트웨어를 통해 연구원은 사용자 정의 가능한 그래픽 인터페이스 화면을 통해 피쳐 정보를 쉽게 추출하고 결과를 시각화할 수 있습니다. TENCOR 7700 모델은 측정에 독점적 인 고급 자외선 (UV) 광원을 사용합니다. 이 광원은 각기 다른 장치 비헤이비어를 설명하기 위해 조정이 가능하며, 저온이나 고온에서도 정확한 데이터 수집 (data collection) 을 제공합니다. 장비의 초점 변화 (Focus Variation) 옵션을 사용하면 빔 스팟 크기를 조정하여 다른 장치 형상을 수용할 수도 있습니다. 인라인 분석의 경우, 7700 시스템은 비접촉 정전 식 측정 센서를 사용하며, 이 센서는 전도성 재료의 매우 작은 차이를 감지 할 수 있습니다. 이 기능을 사용하면 전기 (electrical) 및 구조 (structural) 결함에 대한 웨이퍼를 신속하게 테스트할 수 있으며, 시간이 지남에 따라 미묘한 구조적 변형 또는 장치 성능 저하를 감지 할 수 있습니다. 전반적으로 KLA/TENCOR 7700 기계는 반도체 장치에 대한 광범위한 테스트 및 도량형 솔루션을 제공합니다. VersaMetric (tm) Feature Extractor 소프트웨어 및 Focus Variation 옵션과 같은 다양한 고급 기능을 활용하여 매우 정확하고 효율적인 테스트를 수행합니다. 이 도구의 비접촉 정전기 측정 센서는 인라인 (in-line) 분석 및 작은 결함 감지 (detection) 기능을 통해 자산 결과의 정확성을 향상시킵니다.