판매용 중고 KLA / TENCOR 7700 Surfscan #9398780

KLA/TENCOR 7700 Surfscan은 프로세스 결함, 입자 오염 물질 및 박막 두께에 대한 마이크로 일렉트로닉 장치를 검사하는 데 사용되는 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 정밀도가 높은 3 축 동력 웨이퍼 스테이지와 미묘한 표면 변형을 감지하기위한 레이저 감지 시스템 (laser sensing system) 이 있습니다. KLA 7700 Surfscan은 5x10-9 N/m2에서 다이오드 펌핑 레이저를 사용하여 0.2 ~ 5 µm 미만의 표면 거칠기를 측정하여 0.1 nm 내의 차이를 측정합니다. 공간 해상도는 0.5에서 4 ½ m 사이의 크기에 대해 0.5/ro에 이릅니다. 이 장치는 정적 (static) 또는 동적 (dynamic) 웨이퍼 측정을 위해 설정될 수 있으며, 파괴가 불가능하고 반복 가능한 테스트에서 데이터를 수집할 수 있습니다. TENCOR 7700 Surfscan은 또한 입자 감지, 구조 스크리닝, 분류, 윤곽선 매핑 및 히스토그램과 같은 고급 데이터 분석 도구를 제공합니다. 또한 전통적인 테스트 패드와 플랫 밴드를 제공합니다. 데이터 입수는 3D로 볼 수 있으며, 이를 통해 측정을 정확하게 분석할 수 있습니다. 이 도구는 개발 초기 단계의 결함을 식별하는 데 도움이 되며, 엔지니어가 '본격적인 문제' 가 되기 전에 '모든 문제를 해결할' 가능성이 높아집니다. 또한 7700 Surfscan은 수퍼 기능 감지, PIN 매핑 및 가이드 피쳐 분석 (PIN mapping and guided feature analysis) 과 같은 고급 결함 검토 기술을 제공하여 엔지니어가 결함의 원인을 신속하게 파악하고 신속하게 해결할 수 있도록 도와줍니다. 전반적으로 KLA/TENCOR 7700 Surfscan은 마이크로 전자 장치의 정확성과 신뢰성을 보장하기위한 귀중한 도구입니다. 고도의 정밀 전동 웨이퍼 스테이지 (Motorized Wafer Stage) 와 레이저 감지 머신 (Laser Sensing Machine) 은 정확한 판독 값을 제공하는 반면, 고급 기능은 엔지니어가 신속하게 결함을 감지하고 분리하는 데 도움이됩니다.