판매용 중고 KLA / TENCOR 7700 Surfscan #9239241

KLA / TENCOR 7700 Surfscan
ID: 9239241
Inspection system.
KLA/TENCOR 7700 Surfscan은 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. "나노미터 '해상도 로 매우 복잡 한 표면 을 매우 정확 하게 측정 할 수 있는 강력 하고 민감 한 광학" 인터페로메트릭' 표면 "프로파일러 '를 갖추고 있다. 시스템을 사용하여 심각한 결함 감지 및 분석을 수행할 수도 있습니다. 서피스 지형, 두께, 측면 각도, 평면, 선 또는 피쳐 너비를 매우 정확하게 측정 할 수 있습니다. KLA 7700 Surfscan 장치는 직경이 최대 200mm 인 웨이퍼를 수용 할 수 있으며 최적의 측정 반복 성을 위해 설계되었습니다. TENCOR 7700 Surfscan은 간섭 광학 페어링과 고해상도 CCD 카메라를 사용하여 웨이퍼의 표면 프로파일, 지형, 선 너비, 피쳐 크기를 분석합니다. 고정밀 스캔 기술을 통해 서피스 스캔 (Surfscan) 은 서피스 피쳐의 자세한 이미지를 캡처할 수 있으며, 이를 분석하고 미리 정의된 제품 사양과 비교할 수 있습니다. 서핑 스캔 (Surfscan) 은 그레인 노이즈 (Grain Noise) 및 서피스 반사율 효과를 줄이거나 제거하기위한 다양한 조명 기술을 제공하여 가장 정확한 측정을 가능하게합니다. Surfscan의 소프트웨어는 표면 이미지를 처리하고 피코 미터 정밀도로 2D 프로파일 데이터를 정량적으로 측정하도록 설계되었습니다. 또한 결함 사이트를 분석하고 기존 도구와 알고리즘을 사용하여 식별할 수 있습니다 (영문). 그런 다음, 이러한 측정을 사용하여 수익률 및 결함 처리를 결정하고 후속 웨이퍼 (wafer) 처리에 대한 설계 규칙을 결정하는 데 도움이 될 수 있습니다. 서핑 스캔 (Surfscan) 은 다양한 운영 체제와 상호 작용할 수 있으므로 다양한 애플리케이션에 적합합니다. 일반적으로 현재 사용 가능한 가장 정확한 웨이퍼 테스트 및 도량형 시스템 중 하나로 간주됩니다. 이 기계는 안정성과 반복성 (repeatability) 을 위해 설계되었으며, 사용자가 일관되고 정확한 결과를 얻을 수 있도록 보장합니다. 마지막으로, 7700 Surfscan (Surfscan) 에는 기기의 설정 및 기능을 통해 사용자를 안내하는 포괄적인 사용자 설명서 및 기술 지원 설명서가 수반됩니다.
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