판매용 중고 KLA / TENCOR 7700 Surfscan #9234278

KLA/TENCOR 7700 Surfscan은 장치의 지형, 패턴, 오버레이, 치수 및 결함 특성을 측정하는 데 사용되는 최첨단 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템은 높은 정확도와 정밀도로 0.3 미크론까지 구조 크기를 측정 할 수 있습니다. 이 제품은 이미지 분석을 위한 고급 유닛 소프트웨어 (Advanced Unit Software) 기능을 제공하면서 스캐닝 및 데이터 출력을 완벽하게 자동화할 수 있도록 설계되었습니다. KLA 7700 Surfscan에는 주요 광학 이미징 요소로 독특한 이중 in-situ white light interferometer (WLI) 가 포함되어 있습니다. 이 WLI는 지속적으로 패턴화 된 표면에서도 뛰어난, 비 접촉, 3 차원 이미징 및 나노 구조 및 패턴의 빠른 특성을 제공합니다. 이 기계에는 여러 가지 물리적 속성이 포함되어 있어 큰 검출기 영역 (2X) 및 다중 감지 설정 (multiple detection settings) 과 같은 뛰어난 검사 속도와 처리량을 사용할 수 있습니다. 이 도구는 다양한 응용 프로그램에 대한 여러 자동화 모듈을 장착 할 수 있습니다. 전체 웨이퍼 (full wafer) 를 검사할 때부터 매핑 (patterned) 을 사용하거나 매핑하지 않고 패턴화되지 않은 서피스를 검사할 수 있습니다. 이를 통해 다양한 표면 결함과 웨이퍼 뒤틀린 구조를 감지하고 분석 할 수 있습니다. 또한, 자산에는 검사 속도, 고화질 해상도, 동적 포커싱, 부분 스캐닝 등 사용자 정의 매개변수가 많이 포함됩니다. 이러한 모든 매개변수는 응용 프로그램에 따라 조정할 수 있습니다. 또한 TENCOR 7700 Surfscan은 직관적인 사용자 인터페이스와 다양한 분석/결함 분류 툴을 제공하는 고급 소프트웨어 (advanced software) 기능을 제공합니다. 이 모델은 자동화 및 프로세스 제어를 위해 다른 비용 효율적인 컨트롤러 및 PLC (programmable logic controller) 와 통합 될 수도 있습니다. 또한 내장 고해상도 이미징 및 LRO (Local Region Optimization) 기능이 포함되어 있어 전반적인 장비 정확성과 결과의 균일성을 높일 수 있습니다. 요약하자면, KLA 7700 은 오늘날 시장에서 사용 가능한 최고의 도량형 및 웨이퍼 탐지 시스템 중 하나입니다. 이중 in-situ WLI, 다중 감지 설정 및 자동화 모듈, 고급 소프트웨어 기능, PLC (Integrated Programmable Logic Controller), LRO (Local Region Optimization) 기능과 같은 독보적인 기능을 통해 광범위한 웨이퍼 표면 특성을 테스트하고 분석할 수 있습니다.