판매용 중고 KLA / TENCOR 7700 Surfscan #9198541
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KLA/TENCOR 7700 Surfscan은 집적 회로 및 마이크로 일렉트로닉 구성 요소의 물리적, 전기적, 광학적 특성을 측정하고 특성화하는 데 사용되는 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. KLA 7700 Surfscan 시스템은 반도체 및 옵토 전자 부품의 개발, 특성 및 생산에 중요한 도구입니다. 7700에는 뛰어난 반복성과 정확성을 가진 고정밀 도량형 장치가 있습니다. 1 나노 미터에서 6 밀리미터 크기의 피쳐를 측정하도록 설계되었으며, e- 빔, DUV, ArFi 및 가시 이미징을 포함한 다양한 photolithographic 기술을 지원합니다. 또한 7700은 0.01 나노 미터의 해상도로 표면 지형을 측정 할 수 있습니다. TENCOR 7700 Surfscan은 다양한 도량형 기술을 사용하여 주사 전자 현미경 (SEM), 원자력 현미경 (AFM), 초점 현미경 (CM), 백광 간섭법 (WLI) 및 광학 산란 측량 (WLI) 등 다양한 테스트를 수행합니다. 이러한 기술은 해당 웨이퍼에 있는 회로의 형상 (geometry) 과 특성 (properties) 을 분석하는 데 사용됩니다. SEM (SEM) 은 표면에 증착 된 금속의 성장률을 포함하여 회로의 레이아웃을 관찰하는 데 사용된다. AFM은 표면의 고해상도, 3D 이미지를 제공하여 표면 거칠기의 정확한 특성화와 웨이퍼 (wafer) 의 거친 예산의 정확한 제어를 가능하게 합니다. CM (중소, 중견, 성장 기업) 은 대규모 및 소규모 해상도에서 비파괴 이미징을 지원하며, 유사 속도, 연락처와 같은 장치 성능 또는 기능의 정확한 특성을 제공합니다. WLI는 코팅 (coating) 과 박막 (thin film) 의 상태와 안정성을 모니터링할 수있는 회절 기반 이미징 기술입니다. OS는 회로 기판의 표면 지형 (surface topography) 의 광학 효과를 감지하며, 웨이퍼 (wafer) 피쳐의 높은 정확도 치수 측정 및 분석 (analysis) 에 적합합니다. 7700 Surfscan은 기능이 풍부한 도량형 기계로 완벽한 유연성과 확장성을 제공합니다. 수작업 (manual operation), 자동 스캐닝 (automated scanning), 통합 하드웨어 (예: 데이터 획득 및 분석 보드), 운영자 (operator) 는 스캐닝 전자 현미경 인터페이스와 같은 타사 기기를 통합 할 수 있습니다. 또한 수동 (manual) 및 전동 (motorized) 단계 등 다양한 프로브를 수용할 수 있으며, 다양한 소프트웨어 툴을 사용하여 배포할 수 있습니다. KLA/TENCOR 7700 Surfscan 도구는 신뢰할 수 있고 비용 효율적인 도량형 자산으로, 회로 및 부품의 물리적, 전기적, 광학적 특성을 측정할 수 있습니다. 이 제품은 다양한 개발· 생산 분야에 활용되며 반도체 (반도체) 업계의 필수 도구다.
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