판매용 중고 KLA / TENCOR 7700 Surfscan #293749242

KLA/TENCOR 7700 Surfscan은 반도체 장치의 앞면과 뒷면을 분석하기 위해 높은 정확성과 반복성을 제공하는 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. KLA가 개발 한 KLA 7700 Surfscan은 고급 옵토 기계적 정렬을 사용하여 기능을 정확하게 식별하고 측정합니다. 이 시스템은 최신 업계 표준 LVDT (Linear Variable Differential Transformer) 및 적외선 레이저 변위 센서를 사용하여 개별 다이의 뒷면 토폴로지에 대한 전체 웨이퍼 맵을 만들 수 있습니다. 사용 된 옵토 전자 방법 (opto-electronic method) 은이 장치가 몇 미크론의 크기에서 직경 최대 35mm의 결함을 식별 할 수 있습니다. 가장 정확한 결과를 제공하기 위해 Surfscan 기계는 여러 빔 조명 (beam illumination) 과 격자 기반 광학 단계의 광학 작동을 이용합니다. 이 두 컴포넌트의 조합은 정확한 측정을 보장합니다. 또한, 공구는 보정된 측정 점을 사용하여 피쳐의 정확한 형태 (방향, 각도) 를 결정합니다. 서프스캔 (Surfscan) 은 기능 및 결함 감지 외에도 강력한 자동화 기능을 도입하여 다양한 장치를 정확하게 측정할 수 있습니다. 표준 도량형 (Standard Metrology) 기술은 고급 프로그래밍 알고리즘을 사용하여 피쳐의 위치, 형태, 크기를 빠르고 효과적으로 캡처할 수 있습니다. 에셋은 또한 다이 투 다이 (die-to-die) 반복성을 측정하는 옵션과 두께, 오버레이, 정렬 및 피치와 같은 글로벌 매개변수를 측정하는 옵션을 제공합니다. TENCOR 7700 Surfscan에는 여러 웨이퍼 크기와 유형을 지원하는 다양한 숙박 시설 설정이 있습니다. 이 모델의 짧은 주기 (cycle-time) 및 환경 준수 (environmental compliance) 기능은 청소실 환경에서 빠르고 안정적인 측정이 가능한 기회를 제공합니다. 이 기능은 반도체 제조 및 테스트에 이상적입니다. 차세대 웨이퍼 (wafer) 테스트 및 도량형 장비로서, 7700 Surfscan은 반도체 장치의 제조 과정을 면밀히 모니터링하려는 사용자에게 가장 정밀하고 정확성을 제공합니다. 이 시스템은 고급 (Advanced) 옵토 (Opto) 기계적 정렬 및 옵토 (Opto) 전자 방법을 사용하여 결함뿐만 아니라 작은 기능을 캡처할 수 있으며 효율적인 워크플로를 제공합니다. "서프스캔 '장치 는 자동화 기능 과 일관성 있는 측정점 을 결합 시킴 으로써, 반도체 산업 에 이상적 인 해결책 이다.