판매용 중고 KLA / TENCOR 7700 Surfscan #293655833

KLA/TENCOR 7700 Surfscan은 반도체 웨이퍼의 특성화에 사용되는 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 지형을 감지하기 위해 2 차 전자 및 후면 산포를 갖춘 SEM (Scanning Electron Microscopy) 을 제공하고 전기 평가 및 결함 진단을 위해 AC 및 DC 전류 시스템을 스캔합니다. SEM 시스템에는 높은 처리량, 저용량 매핑을위한 7700ES Rapid Scanner가 포함되어 있습니다. 정확하고 고해상도 측정을위한 7700FS 미세 스캐너; 로컬 커패시턴스 측정을위한 7700SD Scanning Capacitance Microscope (SCM). AC/DC 장치에는 고성능 전기 측정을위한 AC/DC 측정 채널과 데이터 세트 분석을위한 AC/DC 분석 시스템이 포함됩니다. 이 툴은 CD가 65nm 이하인 고급 노드 애플리케이션에 특히 적합합니다. KLA 7700 Surfscan은 저렴한 비용으로 뛰어난 측정 안정성과 성능을 제공할 수 있습니다. AC/DC 에셋은 주파수 도메인 (Frequency-Domain) 알고리즘을 사용하여 초고속 장치를 측정할 수 있으며, 다른 시스템에서 놓칠 수 있는 심각한 결함을 감지하고 특성화합니다. ES 및 FS 스캐너에는 빠른 스캐닝 속도와 높은 동적 범위 (dynamic range) 가 있어 3D 지형 및 위상 변경 구조의 정확한 측정 및 결함 특성화가 가능합니다. SD SCM의 통합 컨트롤러와 16 비트 A/D 컨버터는 신호 샘플링 및 측정 정확도를 100 나노미터로 제공합니다. TENCOR 7700 Surfscan은 또한 데이터를 분석 및 시각화하기위한 강력한 소프트웨어 제품군을 제공합니다. Surfview TSR 소프트웨어를 사용하면 데이터를 빠르고, 쉽고, 정확하게 분석하고, 다이-바이-다이 (die-by-die) 테스트 결과를 볼 수 있습니다. FASt 검토 (review) 소프트웨어는 도구 사전 구성 및 기본값을 제공하여 운영자가 특정 응용 프로그램에 대해 자동 설정을 수행할 수 있도록 합니다. Smart Review 소프트웨어는 Windows 기반 애플리케이션으로, 많은 수의 웨이퍼에서 신속하게 결함을 찾을 수 있는 사용자 친화적 환경을 제공합니다. 요약하면, 7700 Surfscan은 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형 모델로, 우수한 측정 신뢰성과 성능을 제공할 수 있습니다. 다용도 기기와 소프트웨어 제품군은 고급 노드 (advanced node) 애플리케이션에 이상적인 제품입니다.