판매용 중고 KLA / TENCOR 7700 Surfscan #293653454

ID: 293653454
빈티지: 1996
Wafer inspection system 1996 vintage.
KLA/TENCOR 7700 Surfscan은 다양한 샘플 기판을 검사, 검증, 특성화하기 위해 설계된 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 종합 플랫폼은 반도체, 평면 패널 디스플레이 (Flat Panel Display), 솔라 (Solar), 메모리 장치 생산 등 다양한 용도에 대한 다양한 재료를 신속하게 분석할 수 있습니다. KLA 7700 Surfscan 시스템은 고급 자동 현미경으로 구동되며, 고품질 광학 측정이 가능하며, 상세한 이미징 및 분석을 제공합니다. 뛰어난 3D 도량형 기능과 5 축 하드웨어 스테이지로, 이 장치는 다양한 웨이퍼 인터페이스와 표면 지형을 측정 할 수 있습니다. 자동화된 피쳐 검색 (Automated Feature Detection) 알고리즘을 사용하면 여러 측정 매개변수를 비교할 수 있으므로 품질 메트릭을 정의할 수 있으므로 제품 수율이 가장 높을 수 있습니다. 향상된 이미지 처리 알고리즘은 초점 길이, 선 모서리 거칠기 (line edge roughness), 패턴 크기 측정 등 다양한 나노 스케일 (nanoscale) 기능을 평가하여 머신 기능을 더욱 확장합니다. 이 도구는 또한 PDF, .plt, .dat, .xl 등 다양한 형식으로 데이터를 내보내는 기능을 통해 데이터 검색 및 디스플레이에 높은 수준의 유연성을 제공합니다. 통합 그래픽 사용자 인터페이스 (Graphical User Interface) 및 임베디드 소프트웨어 (Embedded Software) 를 사용하면 여러 샘플을 신속하게 분석할 수 있습니다. TENCOR 7700 Surfscan은 360 ° 접근성을 위해 현대적인 경량 스틸 프레임 및 모듈 식 아키텍처로 구성되어 있으며, 기존 자동화 시스템에 쉽게 통합 할 수 있습니다. 이러한 구성을 통해 유지 관리를 최소화하여 높은 수준의 안정적인 성능, 동급 최고의 가동 시간을 실현할 수 있습니다. 7700 Surfscan은 샘플 처리량 증가를위한 7720 자동 웨이퍼 매퍼 (Automated Wafer Mapper) 및 기판 모서리 영역에서 에셋을 보다 정확하게 조정하는 7700 에지 교정 키트 (Edge Calibration Kit) 를 포함하여 다양한 옵션으로 구성 가능합니다. 또한, 자동 정렬, 자동 초점, 오버레이 매퍼, 다양한 도량형 기술 등 다양한 업그레이드 패키지가 제공됩니다. 강력한 성능과 고급 기능으로, KLA/TENCOR 7700 Surfscan은 가장 까다로운 도량형 어플리케이션에 사용하기에 적합한 안정적이고 강력한 모델입니다.
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