판매용 중고 KLA / TENCOR 7700 Surfscan #293645266
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KLA/TENCOR 7700 Surfscan은 반도체 웨이퍼의 기하학적, 전기적, 프로세스 특성을 모니터링하도록 설계된 고정밀 웨이퍼 테스트 및 도량형 시스템입니다. KLA 7700 Surfscan 은 고급 이미징, 프로브, 표면 분석 기술을 활용하여 광범위한 제품의 구성, 품질, 성능을 평가할 수 있습니다. TENCOR 7700 Surfscan에는 자동 웨이퍼 로더 및 고급 자동 브라이트필드 (brightfield) 8 방향 레티클 매핑 기술을 활용하는 고급 이미징 시스템이 장착되어 있습니다. 100x 및 200x 확대 기능을 갖춘 이 이미징 시스템은 0.003m (스팟 사이즈 해상도) 의 탁월한 디테일을 제공합니다. 또한, 흐림 감소 (Blur Reduction) 및 향상 (Enhancement) 기능을 통해 사용자는 웨이퍼 표면의 작은 결함을 정확하고 빠르게 찾아 측정 할 수 있습니다. 이미징 기능을 보완하기 위해 7700 Surfscan은 다양한 Probe 및 Probes-on-Cables를 사용하여 웨이퍼 측정 및 기타 정보를 정확하게 수집합니다. 여기에는 AC 및 DC 전기 프로브와 같은 기능과 3D 광 프로파일 기능이 포함됩니다. 고급 노이즈 감소 및 온축 빔 포지셔닝 기능을 통해 KLA/TENCOR 7700 Surfscan은 매우 낮은 노이즈 수치로 매우 정확한 결과를 포착할 수 있습니다. KLA 7700 Surfscan의 다른 기능으로는 통합 데이터 수집, 분석 및 저장 기능이 있습니다. 여기에는 고급 자동 결함 분류, 결함 통계 보고, 단계 반복 분석 등의 특수 기능이 포함됩니다. 또한 6500 AccuSphere 및 AccuSpark 플랫폼과 같은 다른 KLA 제품과도 통합하여 기능을 더욱 확장합니다. 마지막으로, TENCOR 7700 Surfscan 은 개방적이고 모듈식 (modular) 아키텍처로 설계되어, 특정 요구 사항과 활동에 맞게 기능을 사용자 정의할 수 있습니다. 직관적인 GUI (그래픽 사용자 인터페이스) 는 간단한 단계별 탐색 기능을 제공하며, 장애 위치, 결함 에뮬레이션 등 다양한 기능을 사용할 수 있습니다. 따라서 7700 Surfscan은 반도체 웨이퍼의 생산 프로세스 및 품질을 최적화하기위한 필수 불가결한 도구입니다. 첨단 이미지 처리/검사 기능, 통합된 데이터 수집/분석 기능, 다양한 맞춤형 구성 옵션을 통해 복잡한 제품을 신속하고 철저하게 평가할 수 있습니다 (영문).
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