판매용 중고 KLA / TENCOR 7700 Surfscan #293592610

KLA/TENCOR 7700 Surfscan은 고성능 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 강력한 광학 현미경 단계를 갖춘 반도체 웨이퍼 (wafer) 와 기판 (기판) 의 표면 특성을 측정하고 분석할 수 있다. 이 시스템은 일상적인/복잡한 특성화 애플리케이션에 강력하고, 안정적이며, 정확한 결과를 제공할 수 있습니다. Surfscan 7700은 듀얼 TMS200 이미지 처리 및 이미지 분석 프로세서로 구동됩니다. 고성능 8 "x 8" 틸트 변환 스테이지와 4 레벨 자동 레이저 데스크 장치가 장착되어 있습니다. 이 플랫폼은 또한 매우 민감한 전동 Z 포커스 머신 (Z-focus machine) 을 갖추고 있으며, 정확한 수직 조정과 최대 10 미크론의 정확한 측정 범위를 허용합니다. surfscan 7700은 CD, Uniformity, Traceability 및 Profile 측정을 포함한 다양한 웨이퍼 도량형 기능을 제공합니다. 또한 표면 거칠기, 평균 높이, 파도, 단계 높이, 마이크로 트렌칭, 설정 및 활과 같은 역사적, 동적 매개변수를 정량적으로 측정 할 수 있습니다. 이 도구는 동적 편광 플랫폼, 비스듬한 각도 조명기, 인공 결함 생성기, 어두운 필드 조명기 등 다양한 고급 광 액세서리와 호환됩니다. 또한 시야에서 조명 균일성을 더욱 향상시키는 독점적 인 라이트 스트라이프 (lightstripe) 기능이 특징입니다. 서핑 스캔 7700은 웨이퍼 도량형 기능 외에도 웨이퍼 결함 분석 기능도 제공합니다. 입자 결함, 구조 결함, 인터페이스 결함 등 다양한 유형의 보이지 않는 결함을 감지할 수 있습니다. 고급형 센서 (sensor) 와 스캐닝 시스템 (scanning system) 의 도움을 받아 크기가 200nm 미만인 입자 결함을 정확하게 감지하고 계산할 수 있습니다. 또한 Surfscan 7700 (Surfscan 7700) 은 최적의 이미징 성능과 정확도를 유지하기 위해 모델이 변화하는 환경 조건에 동적으로 적응할 수있는 고급 내장 피드백 (feedback) 제어 자산을 갖추고 있습니다. 또한, 컴팩트한 디자인으로 다양한 실험실 설정에 쉽게 설치할 수 있습니다. 요약하면, KLA 7700 Surfscan은 웨이퍼 표면 특성, 웨이퍼 결함 분석 및 환경 피드백 제어에 사용할 수있는 고성능 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 다양한 고급 기능, 뛰어난 측정 정확도, 반복성, 간편한 설치, 뛰어난 이미징 성능 등을 제공합니다.