판매용 중고 KLA / TENCOR 7600M Surfscan #9265522

KLA/TENCOR 7600M Surfscan 장비는 생산 수준 사용에 적합한 최첨단 웨이퍼 테스트 및 도량형 시스템입니다. 고급 멀티 존 (multi-zone) 패턴 이미지 감지 기술이 적용되어 높은 처리량과 정확한 결과를 제공합니다. 이 장치는 반도체 제조, 평면 패널 디스플레이, 광전자 장치 산업의 필수 프로세스 제어 요구를 해결합니다. KLA 7600M Surfscan 설계는 매우 사용자에게 친숙한 인터페이스를 제공하여 쉽고 빠른 웨이퍼 (wafer) 테스트 및 도량형 작업을 지원합니다. 이 기계는 이중 레이저 패턴 이미지 감지 모듈을 장착하여 결함 위치, 크기, 형태, 기타 기능을 정확하게 확인할 수 있습니다. 또한 표준 자동 자동 초점 기능 (Optical Autofocus Capability) 과 웨이퍼에 복잡한 기능의 초고해상도 이미지를 캡처하는 3 차원 릴리프 툴도 포함되어 있습니다. TENCOR 7600M 서프 스캔 (Surfscan) 은 최대 8 "직경의 광범위한 웨이퍼를 처리하도록 설계되었으며 전용 두껍고 얇은 웨이퍼 센서, 단일 요소 및 다중 요소 초점 모델, 게반 미터 (galvanometer) 를 포함하는 정렬 에셋이 장착되어 있습니다. 웨이퍼 표면. 또한, 이 장비는 한 번에 최대 8 개의 웨이퍼를 스캔하여 처리량을 증가시킵니다. 이 시스템에는 다양한 결함 유형에 대한 수동 검토를 위한 전용 소프트웨어가 내장된 "결함 검토 스테이션 (Defect Review Station) '이 포함되어 있습니다. 또한 장애가 발생한 웨이퍼의 빠른 설치 및 재처리를 위한 장치 아키텍처 (옵션) 를 제공합니다. 따라서 해당 결함을 즉시 수정할 수 없는 경우 "웨이퍼" 가 다시 처리되지 않습니다. 또한, 임베디드 도량형 소프트웨어는 정확한 비 접촉 웨이퍼 표면 측정을 수행 할 수 있습니다. 요약하면, 7600M Surfscan은 웨이퍼 테스트 및 도량형 머신으로, 수동 및 자동 검사를위한 결함 검토 (Defect review) 및 도량형 소프트웨어 (metrology software) 를 포함하여 정확하고 빠른 웨이퍼 테스트 및 도량형 작업을 가능하게합니다. 강력한 패턴의 이미지 감지 모듈 (Image Sensing Module), 자동화된 옵틱 (Optic) 및 기타 기능을 갖춘 이 툴은 높은 처리량과 안정적인 결과를 보장합니다.