판매용 중고 KLA / TENCOR 7600M Surfscan #293626880

KLA/TENCOR 7600M Surfscan은 반도체 산업의 다양한 애플리케이션을 위해 설계된 최고의 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 지형, 거칠기, 결함, 오버레이 및 임계 치수 (CD) 를 포함하여 반도체 웨이퍼에 대한 광범위한 속성을 측정, 분석 및 검사 할 수 있습니다. 이 시스템은 고해상도 이미징 (high-resolution imaging), 자동 이미지 분석 (automated image analysis), 상세한 결함 목록 (detailed defect listing) 등 다양한 소프트웨어/하드웨어 기능을 제공하여 웨이퍼 프로세스 제어에서 빠르고 정확한 결정을 내릴 수 있습니다. KLA 7600M Surfscan의 주요 구성 요소는 SCM (Unit Control Module), 테스트 헤드, 비전 유닛 및 모션 머신입니다. SCM은 도구를 제어하는 데 사용되는 소프트웨어 및 하드웨어 구성 요소로 구성됩니다. 외부 테스트 시스템, 데이터 처리 시스템 (data processing system) 과 상호 작용하여 테스트 결과를 전송하고 아카이빙할 수 있습니다. 테스트 헤드는 반도체 웨이퍼 (wafer) 의 이미지 처리 및 결함 탐지를 담당하는 하드웨어 부품입니다. 두 개의 카메라와 함께 작동하여 접촉 및 비접촉 이미징을 모두 허용합니다. 비전 (vision) 장치는 저배율 이미지의 해상도를 향상시키고 패턴 인식 (pattern recognition) 및 결함 검출 (defect detection) 에 사용됩니다. 동작 에셋 (motion asset) 은 웨이퍼 서피스를 배치하고 제어하여 정확한 이미지를 제공합니다. TENCOR 7600M Surfscan은 실리콘, 유리 및 다양한 폴리머 표면과 같은 재료로 만든 웨이퍼를 분석 할 수 있습니다. 독보적인 이미징 기술, 이미지 스티칭 기능 (image stitching), 강도 보정 (intensity calibration) 을 통해 운영자의 개입 없이 뛰어난 정확성과 정확성을 얻을 수 있습니다. 이 모델은 효율적인 정렬에 대한 분류기 기반 결함 감지 (classifier-based defect detection) 와 중요한 프로세스 매개변수를 식별하기위한 피쳐 인식 모듈 (feature recognition module) 을 포함하여 결함 감지 및 제어를 위한 여러 가지 고급 응용 프로그램을 갖추고 있습니다. 또한 특정 고객 요구 사항에 맞게 테스트를 사용자 정의할 수 있는 다양한 품질 검사 구성 툴 (Quality Inspection Configuration Tools) 이 있습니다. 또한, 이 장비는 다양한 안전 측정 기능과 환경 보호 기능을 갖추고 있습니다. 7600M Surfscan은 신뢰할 수 있고 다용도 웨이퍼 테스트 (wafer testing) 및 도량형 시스템으로, 광범위한 응용 프로그램에서 매우 정확한 결과를 제공합니다. SCM, 테스트 헤드 (test head), 비전 유닛 (vision unit) 및 모션 머신 (motion machine) 과 같은 고급적이고 효율적인 장치 구성 요소가 결합하여 웨이퍼 프로세스 제어를 위한 포괄적이고 정확한 솔루션을 제공합니다. 이 툴을 사용하면 탁월한 정확성과 정확성, Wafer Testing 프로세스 자동화, 비용 절감 등의 이점을 누릴 수 있습니다.