판매용 중고 KLA / TENCOR 7600 #9300225
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ID: 9300225
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 1993
Particle inspection station, 8"
Patterned surface inspection system
ARGON Laser
Power supply: 208 V, 60 Hz
1993 vintage.
KLA/TENCOR 7600 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비는 완전 자동화 된 도량형 시스템으로, 다이 크기, 평평함, 결함 매개변수 및 오염과 같은 웨이퍼 특성을 측정하고 분석하도록 설계되었습니다. 이 장치는 고정밀 광학 감지 (optical sensing) 와 고급 이미지 처리 (advanced image processing) 를 결합하여 서피스 지형, 결함 특성, 형상, 오염 등 다양한 매개변수를 정확하고 빠르게 측정합니다. 이 기계는 정확도, 속도, 정밀도에 중점을 둔 고성능 아키텍처로 제작되었습니다. 고급 조명 및 고해상도 카메라 구성은 탁월한 결과를 얻기 위해 우수한 신호 획득을 제공합니다. 통합 고해상도 이미징은 빠른 스캔 속도와 뛰어난 이미지 해상도를 제공합니다. 강력한 스캐닝 (scanning) 기능은 대형과 소형의 기능을 정확하게 캡처하고 측정하는 것으로 입증되었으며, 이를 통해 최적의 검사 결과를 얻을 수 있습니다. 통합된 최첨단 소프트웨어를 사용하면 직관적인 사용자 인터페이스 (User Interface) 작동이 가능하므로 이 툴을 쉽게 작동시킬 수 있습니다. 즉, 특정 애플리케이션에 맞게 자산 수준 기능을 유연하게 설정할 수 있습니다. 지능형 체크리스트 (Intelligent Checklist) 기능은 Wafer 속성을 최소한의 사용자 상호 작용으로 신속하게 측정하고 검토합니다. 이 모델에는 포괄적인 데이터 분석 (data analysis) 기능이 통합되어 있어 정보를 세분화된 수준으로 저장, 분석할 수 있습니다. 여기에는 고급 시각 형상 도구와 프로세스 최적화를 지원하는 SPC (Statistical Process Control) 가 포함됩니다. KLA 7600은 에너지 효율적인 설계로 인해 탁월한 환경 호환성을 제공합니다. 이 장비는 지속적인 작동을 위해 설계되었으며, 최적의 먼지 보호 (dust protection) 를 통해 중요한 청소실 어플리케이션에 적합합니다. 전반적으로 TENCOR 7600 웨이퍼 테스트 (wafer testing) 및 도량형 시스템 (metrology system) 은 광범위한 웨이퍼 테스트 및 도량형 애플리케이션을 위한 강력하고 안정적인 성능을 제공합니다. 그 종합적인 기능 집합 (set) 과 뛰어난 광학 성능 (optical performance) 은 다양한 프로세스 제어 요구 사항에 이상적인 솔루션이 됩니다.
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