판매용 중고 KLA / TENCOR 7600 Surfscan #293747974

KLA/TENCOR 7600 Surfscan 기계는 정교한 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 반도체 생산을 위해 특별히 설계된 이 기계는 서브 미크론 (sub-micron) 수준에서 반도체 웨이퍼의 잠재적 결함을 감지하고 분석 할 수있는 고해상도 비 접촉 2D 매핑 검사를 제공합니다. 이 기계는 OCR (Advanced Optical Character Recognition) 기술을 사용하여 다양한 웨이퍼 표면을 감지합니다. 이 시스템은 높은 처리량, 고해상도 검사, 높은 정확도 결함 인식, 광시야각, 짧은 주기 시간, 사용자에게 친숙한 Windows NT 환경 등의 기능을 제공합니다. KLA 7600 Surfscan 장치는 입력 카세트에서 웨이퍼를 획득하고 웨이퍼 처리 스테이션에 배치하는 픽 앤 플레이스 (pick-and-place) 로봇으로 시작합니다. 그런 다음, 웨이퍼는 스마트 스티그메이터 정렬 터널 (smart-stigmator alignment tunnel) 에 의해 검사되며, 이는 표면 지형을 정확하게 측정하여 테스트 플레이트에 웨이퍼의 정확한 배치를 결정합니다. 그런 다음 공기 슬라이드는 웨이퍼를 기계 검사를 위해 측정 평면으로 이동합니다. 하위 미크론 스케일에서 웨이퍼 결함을 감지하고 측정하기 위해 고감도, 저소음 광학 검출기가 사용됩니다. 이 기계의 고급 OCR 기술 및 내장 알고리즘은 뛰어난 감지 정확성을 제공하며, 심각한 결함과 중요하지 않은 결함을 정확하게 구분합니다. 감지를 위해 너무 작거나 복잡한 것으로 밝혀진 결함은 "도구 상자 (toolbox)" 에서 표시하고 더 검토 할 수 있습니다. 고해상도 이미징은 도구의 4 개의 고속 시선 스캔 헤드에 의해 수행됩니다. 스캔 헤드는 최대 50 nm 수직 해상도로 최대 4 줄의 데이터를 제공 할 수 있습니다. 이러한 스캔 헤드는 최대 6.5kHz 스캔 속도로 웨이퍼 표면을 추적 할 수 있습니다. 마지막으로, TENCOR 7600 Surfscan에는 직관적 인 소프트웨어가 장착되어 있어 테스트 결과를 간단한 그래픽 디스플레이로 볼 수 있습니다. 측정된 모든 데이터는 현장에 저장되며, 익스포트 또는 전송에 사용할 수 있습니다. 7600 Surfscan은 효율적이고 신뢰할 수있는 웨이퍼 테스트 및 도량형 자산입니다. 고급 검사 기술 (Advanced Inspection Technology) 과 직관적인 사용자 인터페이스 (User Interface) 를 결합하면 모든 반도체 웨이퍼 생산 작업에 적합한 옵션을 선택할 수 있습니다.