판매용 중고 KLA / TENCOR 7600 Surfscan #293667456

ID: 293667456
빈티지: 1994
Wafer inspection system 1994 vintage.
KLA/TENCOR 7600 Surfscan 장비는 복잡한 반도체 웨이퍼의 검사 및 특성을 위해 설계된 최첨단 웨이퍼 테스트 및 도량형 시스템입니다. 이 장치는 다양한 응용 프로그램에서 고정밀 (high-precision) 측정을 보장하는 고급 형태의 자동 인라인 (in-line) 프로세스 제어입니다. 첨단 이미징 기술과 소프트웨어를 활용하여 정확하고 직관적인 측정, 결과를 제공합니다. KLA 7600 Surfscan에는 레이저 기술을 사용하는 고속 및 고해상도 2D 이미징 머신 (고해상도 2D Imaging Machine) 이 장착되어 있어 작은 규모에서도 웨이퍼 기능이 선명한 이미지를 제공합니다. 또한 이 이미징 도구는 옵션으로 제공되는 동적 이미지 획득 에셋 (dynamic image acquisition asset) 을 통해 정적 (static) 프로세스와 동적 (dynamic) 프로세스를 모두 분석할 수 있습니다. 또한 색상, 원형, 입도, 대비, 두께 등 다양한 이미징 매개변수를 측정할 수 있습니다. TENCOR 7600 Surfscan 모델에는 CD, CD 선형성, OPC, O/L, dE, 마스크 간 패턴, 3D 프로파일 및 로드 맵토 그래프를 포함하여 다양한 속성을 측정 할 수있는 고정밀 CCD 기반 도량형 장비도 포함되어 있습니다. 프로파일. 직관적인 대화형 사용자 인터페이스 (Interactive User Interface) 를 통해 검색 결과를 빠르고 쉽게 확인할 수 있습니다. 7600 Surfscan 시스템은 자동 샘플 처리 (automatic sample handling) 및 이미지 스티칭 (image stitching) 과 같은 특정 프로세스 요구 사항을 충족하기 위해 다양한 옵션으로 구성할 수 있습니다. 또한, 다른 KLA 도량형과 통합하여 강력한 인라인 (in-line) 프로세스 제어 및 도량형 시스템을 만들 수 있습니다. 전반적으로 KLA/TENCOR 7600 Surfscan 장치는 웨이퍼의 검사 및 특성화에 이상적인 장치로, 측정, 이미지 처리, 분석 작업에서 탁월한 정확성과 성능을 제공합니다. 고해상도 이미징 (High Resolution Imaging) 및 도량형 (Metrology) 기능과 사용자 친화적 인터페이스를 갖추고 있어 가장 복잡한 작업에도 쉽게 사용할 수 있습니다.
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