판매용 중고 KLA / TENCOR 7600 Surfscan #293658685

KLA/TENCOR 7600 Surfscan은 반도체 산업의 요구를 충족시키기 위해 특별히 설계된 최고의 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. KLA 7600 Surfscan에는 고급 광학 시스템, 고해상도 웨이퍼 검사, 3D 깊이 측정, 반도체 생산 공정의 석판 제어 등 업계 최고의 시스템이 장착되어 있습니다. TENCOR 7600 Surfscan의 고급 광학 장치는 NA가 0.35이고 큰 시야 (FOV) 는 최대 4mm입니다. 따라서 고해상도 (높은 해상도) 와 정확도 (높은 웨이퍼 속도) 로 결함을 감지할 수 있습니다. 또한, 광학 기계를 통합 레이저 간섭계와 결합하여 높은 정확도 3D 비 접촉 도량형과 결합 할 수 있습니다. 이를 통해 지형, 결함 높이 및 웨이퍼 평평 측정과 같은 웨이퍼의 포괄적 인 도량형을 허용합니다.7600 Surfscan은 KLA 독점 HS-PS 기술을 사용한 자동 결함 감지, 인식 및 분류도 지원합니다. 이 기술은 패턴 인식 알고리즘을 사용하여 입자, 에칭 이상, 구조 및 서브 표면 결함을 구분합니다. KLA/TENCOR 7600 Surfscan의 도량형 도구는 최고의 정확성과 반복 성을 제공하도록 설계되었습니다. 고해상도 RGB 검출기 (detector), 조절 가능한 빔 각도 (beam angle) 및 고대비 색상 필터를 활용하여 다양한 정교한 웨이퍼 측정 및 분석을 수행합니다. 이 에셋은 또한 공백, 구덩이, 돌출, 깊이 변형, 그라디언트 등 여러 레이어 및 결함 유형을 감지 할 수 있습니다. KLA 7600 Surfscan은 웨이퍼 처리를 위해 뛰어난 가동 시간과 빠른 처리 시간을 제공합니다. 이 제품은 고정밀 웨이퍼 처리 모델, 제어 컴포넌트, 소프트웨어, 강력한 자동화 플랫폼 등 최첨단 기술로 설계되었습니다. 직경이 최대 200mm 인 웨이퍼를 검사 할 수 있으며 시간당 최대 8 개의 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 전반적으로 TENCOR 7600 Surfscan은 웨이퍼 테스트 및 도량형을위한 고도의 고급 도구입니다. 특화된 광학 장비와 통합 레이저 간섭계를 통해 탁월한 결함 감지, 3D 비접촉 도량형, 자동 결함 분류 (automated defect classification) 기능을 제공합니다. 7600 Surfscan은 생산 프로세스에 대한 정확성과 신뢰성이 필요한 반도체 제조업체를위한 귀중한 도구입니다.