판매용 중고 KLA / TENCOR 7500 Surfscan #293667455

ID: 293667455
빈티지: 1993
Inspection system 1993 vintage.
KLA/TENCOR 7500 Surfscan은 와퍼의 여러 속성을 측정하도록 설계된 최첨단 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 반도체 제작 설비에 완벽하게 추가된 것으로 결함 분석 (defect analysis), 표면 특성 (surface characterization), 필름 두께 (film thickness) 및 구성 분석 (composition analysis) 등 다양한 응용 프로그램에 걸쳐 정확한 결과를 제공합니다. KLA 7500 Surfscan에는 다른 웨이퍼 테스트 및 도량형 시스템과 분리되는 몇 가지 주요 기능이 있습니다. 고해상도 광학 이미징 시스템 ICSM (Interferometric Confocal Scanning Microscopy) 을 사용하여 해상도가 0.5nm (마이크로미터의 1/500) 인 이미지를 생성합니다. 이 기술은 TENCOR 7500 Surfscan에 가장 정확한 검사 및 측정과 함께 뛰어난 광학 특성을 제공합니다. 또한, 고속 이미지 데이터 전송은 빠르고 효율적인 데이터 수집을 통해 초당 100 메가 픽셀 (MB) 이미지를 얻을 수 있습니다. 이 장치는 또한 고객의 요구에 따라 확장성이 뛰어나고, 사용자 정의가 가능합니다. 이 기계는 7500 개의 Surfscan 을 제어 및 관리하는 측면에서 강력한 백엔드 소프트웨어 제품군으로 설계되어 레시피 (Recipe) 및 검사 기법의 데이터 관리, 분석, 보고, 사용자 지정 (Customization) 기능을 제공하는 풍부한 사용자 환경을 제공합니다. 도구 자체는 하드웨어 구성 요소 모음으로 구성되어 있습니다. 데이터 전송을 촉진하기 위해 고속 Gigabit Ethernet 통신 인프라를 사용합니다. 또한, KLA/TENCOR 7500 Surfscan의 고급 자동화된 프런트엔드 하드웨어는 매우 정밀하고 정확하게 웨이퍼 표면 기능을 보여줍니다. 또한 KLA 7500 Surfscan은 사용자에게 편리함과 유연성을 제공하도록 설계되었습니다. 설치 공간이 작고 무게가 200kg 미만이므로 원격 작업 사이트 (Remote Job Site) 와 청소 시설 (Clean Room Facility) 에 사용할 수있는 이상적인 후보입니다. 자동화된 자산은 수작업 (manual labor) 이 거의 필요하지 않으므로 해당 과정에서 인건비를 크게 절감할 수 있습니다. 또한, 이 모델의 고해상도 이미지 생성 (초 단위) 기능은 반도체 제작 설비를 위한 완벽한 선택입니다. 전반적으로, TENCOR 7500 Surfscan은 광범위한 응용 프로그램에서 정확한 결과를 제공하기 위해 설계된 고급, 자동 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 강력한 소프트웨어 제품군, 하드웨어 구성 요소, 고속 이미지 데이터 전송 기능, 자동화된 프런트엔드 (FE) 하드웨어는 모든 반도체 제조 설비에 필수품입니다.
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