판매용 중고 KLA / TENCOR 7000 Surfscan #9037841

KLA/TENCOR 7000 Surfscan은 고급 자동화 및 도량형 기능을 제공하는 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 반도체 장치의 반복 가능한 결과와 처리량 증가를 제공하도록 설계되었습니다. 시스템은 정밀도와 정확도가 높은 집적 회로 (IC) 웨이퍼의 선 너비, 오버레이, CD 등과 같은 중요한 매개변수를 측정하는 데 사용됩니다. 모듈식 (modular) 설계를 통해 운용이 효율적이고 쉽게 업그레이드할 수 있는 완전 자동화 장치 (Fully Automated Unit) 입니다. 이미징 웨이퍼를위한 CCD 센서, 도량형을위한 메인 프레임, 웨이퍼를 정확하게 정렬하기위한 로봇 전송 머신 (robotic transfer machine) 으로 구성됩니다. CCD 센서에는 최대 8äm의 3D 프로파일링을위한 최신 기술이 포함되어 있습니다. 또한 홍채 조명 도구 (iris illumination tool) 가 장착되어 측정의 정확한 조명을 보장합니다. KLA 7000 Surfscan은 단일 칩, 멀티 다이 및 범프 구조, 최대 레이어 40에서 다양한 웨이퍼 측정을 제공합니다. 3D nanosurf 도량형과 IBIS 테스트 키 클러스터를 하나의 구성 가능한 자산으로 결합합니다. 이를 통해 대용량 제조 라인에서 프로세스 제어 및 결함을 찾을 수 있습니다. 빠르고 안정적인 메트로 (metrole) 보정을 통해 유연성과 높은 처리량을 필요로 하는 운영 라인에 적합한 모델입니다. TENCOR 7000 Surfscan은 또한 확장성이 뛰어나며, 기존 기술과 새로운 기술을 다루는 여러 테스트 모드를 갖추고 있습니다. 다양한 로트 수준에서 전력 수율을 측정하기 위해 현장 OTP (in-situ OTP) 또는 오버 드라이브 (Overdrive) 테스트와 같은 다양한 옵션이 장착 될 수 있습니다. 또한 반전체 또는 오목 광학과 같은 여러 오버레이 및 검사 광학을 지원합니다. 전반적으로 7000 Surfscan은 반도체 생산 응용 프로그램을위한 포괄적 인 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 높은 정확성과 반복 가능성, 높은 처리량, 유연성 및 확장성을 제공합니다. 모듈식 (Modular) 설계를 통해 기존 장비와 쉽게 통합할 수 있으며, 고급 도량형 (Advanced Metrology) 기능을 통해 운영 제품군을 현재와 같이 안정적으로 유지할 수 있습니다.