판매용 중고 KLA / TENCOR 6420 #293656103

KLA/TENCOR 6420은 최대 8 개의 웨이퍼를 병렬로 분석 할 수있는 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 광학 간섭법, 초점 현미경 및 기타 이미징 기술의 초고해상도 조합이 특징입니다. 시스템은 단 몇 분 만에 높은 정확도로 단일 장치 (single device) 또는 다중 구조 (multiple structure) 의 여러 매개변수를 단일 웨이퍼에서 측정할 수 있습니다. 웨이퍼 테스트 및 도량형 장치에는 표면 지형과 광학 박막 두께를 모두 측정하는 고정밀, 3 차원, 간섭계가 포함됩니다. 이 기계는 또한 이중 탐지기 (dual detector) 를 특징으로하며, 웨이퍼에 존재할 수있는 다양한 다른 구조를 분석하는 데 매우 유연합니다. 저항성, 임계 치수 두께 등과 같은 피쳐를 측정할 수 있습니다. 또한 KLA 6420 에 탑재된 툴은 강력한 데이터 분석 기능을 제공하여 여러 차원의 구조, 전기, 리소그래피 (lithography) 결함 기능을 식별할 수 있습니다. 또한 레이어 하이트와 사이드 월 각도 정보, 피크 밸리 분석, 곡률 (curvature) 및 거칠기 (roughness) 를 계산할 수 있습니다. 또한 펄스 동기 감지 (pulse synchronous detection) 기술이 적용되어 다양한 구조에서 여러 지형 측정 매개변수를 동시에 획득 할 수 있습니다. 또한 TENCOR 6420 은 데이터 취득 프로세스를 간소화하는 정교한 GUI (그래픽 사용자 인터페이스) 를 자랑합니다. 여러 웨이퍼 테스트 (wafer test) 를 동시에 실행할 수 있으며, 데이터, 그래프, 측정 이미지 등을 동시에 표시할 수 있습니다. 이 도구는 또한 CMP (Chemical Mechanical Polishing) 맵 생성 소프트웨어와 같은 다양한 소프트웨어 패키지를 제공하며, 이는 웨이퍼 (wafer) 의 전체 표면에서 평면을 분석하는 데 사용될 수 있습니다. 강력하고 다재다능한 6420은 라인 웨이퍼 테스트 (Line Wafer Testing) 및 도량형 (Metrology) 자산의 최상위로서, 여러 테스트 매개변수에 걸쳐 정확하고 신뢰할 수 있는 데이터를 제공하여 운영 엔지니어와 R&D 직원이 쉽게 장치 또는 구조 결함을 신속하게 파악할 수 있습니다.