판매용 중고 KLA / TENCOR 6420 #293605952
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KLA/TENCOR 6420 Wafer Testing and Metrology Equipment는 완전하게 자동화된 도량형 시스템으로, 웨이퍼 수준에서 반도체 장치의 주요 지표를 검사하고 측정합니다. KLA 6420 장치는 다양한 고급 프로세스 노드 (advanced process node) 및 혁신적인 기술의 최고 품질을 보장하는 포괄적인 결함 감지 (defect-detection) 및 프로세스 모니터링 기능을 제공합니다. TENCOR 6420 기계는 생산 라인 결함 검사에서부터 복잡한 웨이퍼 매핑, 입자 감지, 자동화된 결함 수리에 이르기까지 다양한 검사 및 측정 작업을 수행 할 수 있습니다. 3D 매핑, 사용자 정의 자동 샘플 처리, 레이저 기반 에지 및 결함 감지, 고화질 이미지 처리 및 CCD 기술 등의 기능은 6420 플랫폼으로 설계된 통합 측정 기능 중 일부일뿐입니다. KLA/TENCOR 6420 도구는 수많은 측정 기능과 정밀 알고리즘으로 웨이퍼 서피스를 완전히 분석 할 수 있습니다. 또한, KLA 6420 자산에는 최적의 광학, 조명 및 획득 하드웨어를 통해 활성화 된 레이저 반사 측정법이 장착되어 있습니다. 따라서 가장 까다로운 프로세스 요구 사항을 충족하는 정확한 wafer 매핑이 가능합니다. TENCOR 6420 모델은 자동 입자 감지 및 제거도 가능합니다. 고화질 웨이퍼 입자 검출 도구 (High-Definition Wafer Particle Detection Tools) 는 입자 또는 오염으로 인한 잠재적 간섭으로부터 웨이퍼를 절연하는 데 도움이되지만 회로의 작동을 방해 할 수있는 입자를 식별하고 분리 할 수 있습니다. 이 기능은 전체 회로 설계의 품질을 보장하는 데 유용합니다. 또한 6420 장비 (Equipment) 는 보다 안정적인 웨이퍼 (Wafer) 특성화 및 프로세스 제어를 위해 보다 정확한 데이터를 제공하도록 설계된 광범위한 데이터 획득 및 분석 기능을 제공합니다. KLA/TENCOR 6420 시스템은 높은 처리 속도에 최적화되어 있어 운영 테스트에 빠르고 효율적인 처리 성능을 제공합니다. 또한, KLA 6420 플랫폼은 다양한 도량형 시스템과 호환되어 기능을 확장하여 정확성과 성능을 향상시킵니다. 결론적으로, TENCOR 6420 Wafer Testing and Metrology Unit은 가장 까다로운 반도체 생산 요구 사항을 충족시킬 수있는 혁신적인 플랫폼입니다. 통합 피쳐 세트 (integrated feature set) 는 웨이퍼 표면과 그 기능에 대한 정확한 분석을 제공하여 정확한 웨이퍼 매핑 및 자동 입자 감지 및 제거를 가능하게합니다. 이를 통해 6420 머신은 광범위한 프로세스 노드 및 고급 기술에 이상적인 플랫폼이 됩니다.
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