판매용 중고 KLA / TENCOR 6400 Surfscan #9358232

KLA/TENCOR 6400 Surfscan은 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비로, 품질을 평가하고 집적 회로 표면에서 다양한 자동 테스트를 수행하는 데 사용됩니다. 이 시스템은 광범위한 재료, 형식, 장치 유형과의 최대 호환성을 제공하도록 설계되었습니다. KLA의 KLA 6400 Surfscan 장치는 "활성 스캔", "대기 모니터링" 및 "레이저 무음" 의 세 가지 기본 작동 모드를 제공합니다. 활성 스캐닝 (Active Scanning) 모드는 표면 결함에 대한 자세한 정보를 제공하는 데 사용되며, "대기 모니터링 (Standby Monitor)" 은 지속적인 배경 테스트에 사용되며, 모든 웨이퍼 컨텐트 및 장치 크기에서 최적의 검사 처리량을 제공합니다. "레이저 '무음" 모드' 는 연속적 인 "레이저 '광선 을 유지 할 필요 가 없이 확장 된 시험 기간 에 사용 된다. 이 기계는 결함 위치 및 검토, 서피스 지형, 고급 패턴 분석 (Advanced Pattern Analysis) 에서 다양한 도량형 기능을 제공합니다. 소프트웨어 도구 모음 인 "패턴 필터 (pattern filters)" 는 도구의 대형 해상도 스캔을 활용하도록 설계되어 결함 감지 민감도 (High Defect Detection Sensitivity) 와 결함 개수를 구체화할 수 있습니다. TENCOR 6400 Surfscan에는 다양한 이미징 알고리즘이 있습니다. 이러한 알고리즘은 매우 정확한 지형 측정 및 이미지 분석 (image analysis) 을 수행하기 위해 결합되어 표면 특성을 평가하기위한 강력한 도구를 제공합니다. 이 자산은 또한 사용자가 개별 결함 및 해당 위치의 측정을 전반적인 "트렌드 (trend)" 분석의 일부로 볼 수있는 고급 추적 기능을 제공합니다. 자동화된 교정 루틴이 모델에 내장되어 있어 빠르고, 안정적이며, 반복 가능한 측정이 가능합니다. 6400 Surfscan은 기계적으로 고급 LSP (Laser-shock-protection) 시스템과 정밀 안정화 된 현미경 단계를 갖춘 매우 신뢰할 수있는 장비입니다. 이 단위는 2 인치 라운드 (2 인치) 에서 12.5 인치 (12.5 인치) 의 다양한 기판을 쉽게 다루는 것으로보고되었으며 나노 스케일 (nanoscale) 수준에서 미크론 (micron) 수준까지 광범위한 동적 범위를 제공합니다. 전반적으로 KLA/TENCOR 6400 Surfscan은 호환성과 정확성을 극대화하기 위해 설계된 다용도, 강력한 웨이퍼 테스트 및 도량형 기계입니다. 이 제품은 다양한 이미징 및 측정 기능, 정밀 안정화 단계, 정확성과 신뢰성을 위한 고급 LSP (LSP) 툴을 제공합니다.