판매용 중고 KLA / TENCOR 6400 Surfscan #9277849

KLA/TENCOR 6400 Surfscan은 고정밀 측정과 정확한 결과를 제공하기 위해 설계된 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 최신 자동 석판 정렬 기술 (Automatic Lithographic Alignment Technology) 이 특징이며 0.2nm의 해상도를 측정 할 수 있습니다. 이 시스템의 작동 면적은 16x200mm이며 웨이퍼 전체에서 동시에 측정하기 위해 최대 4 개의 격자 (grating) 를 유지할 수 있습니다. 사전 에치 (pre-etch) 및 에치 후 (post-etch) 도량형 측정에 이상적이며 결함과 웨이퍼 품질을 심도있게 분석 할 수 있습니다. KLA 6400 Surfscan은 결함 분석 및 도량형 응용 프로그램에 이상적인 자동 도구입니다. 최소한의 연산자 노력으로 빠르고 정확한 측정을 제공합니다. 이 장치는 고급 광 기술 (Optical Technology) 을 사용하여 조리개와 프로파일을 모두 측정하고 혁신적인 빠른 스캔 모션 모듈을 사용하여 스캔 시간을 최소화합니다. 이 기계는 또한 일관된 웨이퍼 작업 흐름을 보장하는 통합 웨이퍼 제어 도구 (wafer control tool) 를 갖추고 있습니다. 자동화된 기능 외에도, 이 자산은 혁신적인 직관적인 GUI (그래픽 사용자 인터페이스) 를 갖추고 있습니다. 따라서 가장 경험이 부족한 사용자도 작업을 간편하게 수행할 수 있습니다. 모든 측정값은 전용 데이터 영역 (data area) 에 저장되며, 이를 통해 나중에 데이터를 쉽게 검색할 수 있습니다. 또한 TENCOR 6400 Surfscan은 IO/Data 포트를 제공하여 다른 장치로 측정을 전송하여 추가 분석을 할 수 있습니다. 6400 Surfscan은 결함 감지 및 도량형 응용 프로그램을위한 안정적이고 정밀한 도구입니다. 고급 광학 설계, 정밀 측정, 사용이 간편한 설계, 자동화된 테스트 (testing) 및 도량형 (metrology) 을 위한 최상의 선택입니다. 이 모델은 조작 자 (operator) 의 개입을 최소화하고 일관된 웨이퍼 (wafer) 작업 흐름을 보장하는 높은 정확도 결과를 제공하도록 설계되었습니다.