판매용 중고 KLA / TENCOR 6400 Surfscan #9202541

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KLA / TENCOR 6400 Surfscan
판매
ID: 9202541
Defect inspection system.
KLA/TENCOR 6400 Surfscan은 광범위한 도량형 응용 프로그램에서 다용성을 위해 설계된 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 강력한 시스템은 고해상도 웨이퍼 (wafer) 이미지를 촬영하여 엔지니어들에게 표면에 대한 심층적이고 상세한 분석을 제공하도록 설계되었습니다. KLA 6400 Surfscan은 거칠기, 두께 측정, 표면 결함, 미립자 오염 및 표면 지형과 같은 여러 가지 유형의 테스트 응용 프로그램을 동시에 테스트 할 수 있습니다. 이 장치는 자동 초점 및 스테이지 보정을 사용하여 각 웨이퍼 테스트에서 반복 가능한 정확한 측정을 확인합니다. 6400에는 최대 1 미크론 (micron) 의 해상도로 최대 915mm 웨이퍼를 검사 할 수있는 10 배 광학 머신이 있습니다. 또한 자동 초점을 개선하기 위해 조정 가능한 3D 초점 메커니즘이 있습니다. 6400에는 통합 비전 감지 도구 (integrated vision sensing tool) 와 자동 검사가 필요한 결함 분석, 패턴 인식 및 기타 측정을 자동으로 수행 할 수있는 고속 웨이퍼 핸들러 (High Speed Wafer Handler) 가 있습니다. 또한 다양한 감지 알고리즘, 스펙트럼 분석, 피쳐 추출, 자동 상관 관계, 다양한 처리 후 도구 등 다양한 이미지 조정 및 개선 기능이 있습니다. 이 자산에는 결함 데이터를 저장할 수 있는 완전 통합형 결함 관리 데이터베이스 (fully integrated defect management database) 가 장착되어 있어 분석 (analysis) 및 결함 디버깅 (debugging) 에 도움이 됩니다. 또한 여러 개의 횡단면을 포함하여 각 웨이퍼 (wafer) 의 여러 데이터 세트를 분석하여 샘플을 포괄적으로 살펴볼 수 있습니다. TENCOR 6400 Surfscan은 시장에서 가장 고급 도량형 시스템 중 하나입니다. 특히 웨이퍼 도량형 (wafer metrology) 용으로 설계되었으며 테스트에서 탁월한 신뢰성과 유연성을 제공합니다. 이 모델은 웨이퍼 (wafer) 제조업체에 이상적이며, 제품을 보다 효율적인 속도로 테스트할 수 있으며, 정확한 결과를 얻을 수 있지만, 여전히 높은 수준의 안전을 유지할 수 있습니다. 6400 Surfscan (Surfscan) 은 웨이퍼 테스트 분야에서 매우 유용한 툴로서 엔지니어에게 상세하고 신뢰할 수있는 데이터를 제공합니다.
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