판매용 중고 KLA / TENCOR 6400 Surfscan #9179617

KLA/TENCOR 6400 Surfscan은 제조업체와 서비스 제공 업체에 강력하고 정확한 웨이퍼 제작 분석을 제공하기 위해 설계된 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형 시스템입니다. 이 제품은 반도체, 마이크로 일렉트로닉스 및 광전자 산업 내에서 웨이퍼 처리를 위해 특별히 설계되었습니다. KLA 6400 Surfscan은 고속, 고정밀도 2D 및 3D 도량형 측정을 실행할 수 있으며, 이는 중요한 제조 프로세스의 정확성과 효율성을 보장하는 데 매우 중요합니다. TENCOR 6400 Surfscan은 웨이퍼 평면도, 프로세스 불균일 성, 레이어 전단 및 기능 프로파일 도량형과 같은 광범위한 기능을 제공합니다. 이 제품은 12 개의 고급 광학 및 이미징 서브시스템을 갖추고 있으며, 모두 웨이퍼 (wafer) 의 기능을 정확하게 측정하기 위해 함께 작동합니다. 고급 레이저 스캐너는 0.015 미크론 크기의 기능을 얻을 수 있습니다. Surfscan은 150mm ~ 300mm의 다양한 웨이퍼 크기를 측정 할 수 있습니다. 또한 빠른 도량형 처리를 위한 병렬 탐지 시스템 (parallel detection system for rapid metrology processing) 과 같은 다양한 요구 사항을 충족하도록 조정할 수 있습니다. 6400은 고급 소프트웨어 제품군과 산업용 PC (Industrial PC) 에 연결되므로 빠르고 쉽게 데이터를 다운로드하고 설치할 수 있습니다. 고급 검사 기능에는 임계 치수 (CD), 오버레이 측정 및 기울기 및 비틀기 분석이 포함됩니다. 6400 은 고해상도 히터 (heater) 를 장착하여 웨이퍼의 온도를 제어하며, 모든 크기에 걸쳐 반복 가능하고 정확한 측정이 가능합니다. 최근의 발전으로 인해 6400은 미크론 (micron) 수준으로 결함을 감지 할 수 있습니다. 이는 이전 세대 제품에 비해 크게 개선된 것입니다. 일반적으로 6400 Surfscan은 완전하고 정확한 웨이퍼 (wafer) 평가 시스템을 찾는 현대 제조 및 서비스 제공 업체에 이상적인 솔루션입니다. 고급 기능 세트, 높은 정확도, 종합적인 소프트웨어 제품군을 통해 정확한 측정이 필요한 모든 제조 (fabrication) 프로세스에 대해 최적의 선택이 가능합니다.