판매용 중고 KLA / TENCOR 6400 Surfscan #9155219

KLA/TENCOR 6400 Surfscan은 웨이퍼 표면을 측정하기위한 고정밀 도구입니다. 특허를받은 Interferometric Non-Contact profilometer (INC) 를 사용하여 지형 및 치수 정보와 같은 웨이퍼의 표면 기능을 측정합니다. INC는 나노 미터 결함을 정확하고 정확하게 측정하기위한 최첨단 기술입니다. KLA 6400 Surfscan은 대용량 생산 라인에서 작동하도록 설계되었습니다. 고속 듀얼 존 (Dual-Zone) 스캔 장비를 사용하여 처리량을 높이고 재시도 시간을 단축합니다. 듀얼 존 (Dual-Zone) 시스템에는 웨이퍼의 초기 결함을 감지하기 위해 설계된 7äm 검출기와 더 정확한 표면 기능을 측정하도록 설계된 1äm 검출기가 있습니다. 300mm/min에서 웨이퍼를 스캔할 수 있으며, 데이터는 mm 당 200 데이터 포인트로 캡처됩니다. TENCOR 6400 Surfscan에는 여러 도량형 도구가 있습니다. 여기에는 고속 입자 도량형 단위, 저조도 입자 도량형 기계, 지형 도량형 도구, 3D 표면 도량형 자산 및 거친 도량형 모델이 포함됩니다. 이 모든 시스템은 석영, 알루미늄, 플라스틱 웨이퍼 등 다양한 유형의 웨이퍼를 측정 할 수 있습니다. 6400 Surfscan에는 여러 가지 다른 기능도 있습니다. 자동 교정 (automated calibration) 및 정렬 (alignment) 장비로 설계되어 상부 및 하부 서피스를 완벽하게 정렬할 수 있습니다. 또한 ER-2000 Advanced Processing System이 있으며, 이를 통해 KLA/TENCOR 6400 Surfscan이 수집 한 데이터를 데이터 분석 및 제어 할 수 있습니다. KLA 6400 Surfscan은 웨이퍼 테스트 및 도량형을 쉽고 빠르게 만드는 기능으로 가득합니다. "웨이퍼 '시험 과 도량형 을 위한 정확 하고 효율적 인 도구 가 필요 한" 반도체' 회사 들 에게 이상적 인 도구 이다. TENCOR 6400 서피스 스캔 (Surfscan) 은 정확성과 특징으로, 쉽게 표면 피쳐를 측정하는 데 사용할 수있는 신뢰성이 높은 도구입니다.