판매용 중고 KLA / TENCOR 6400 Surfscan #192510

KLA/TENCOR 6400 Surfscan Equipment는 반도체, MEMS, photonics 및 태양 전지와 같은 다양한 웨이퍼 기반 응용 프로그램에 사용되는 고정밀 웨이퍼 테스트 및 도량형 시스템입니다. 이 장치는 크기가 최대 50cm인 0.2 äm 크기의 기능을 테스트 할 수 있으며 단계, 플랫, 모서리, 지형, 에칭, 증착, 부식 등 다양한 기능을 측정하도록 설계되었습니다. KLA 6400 Surfscan 기계는 세 가지 주요 구성 요소를 사용하여 테스트 표본 (센서, 모니터 및 스테이지) 을 조사하고 분석합니다. 센서는 고해상도 간섭계 (interferometer) 로, 표준 현미경으로 만들 수없는 측정 유형을 허용합니다. 이 모니터는 간섭계 (Interferometer) 가 검사할 때 샘플의 그래픽 디스플레이를 제공합니다. 스테이지 (stage) 는 특정 테스트 요구 사항을 충족시키기 위해 샘플 표면을 기울이고, 회전하고, 이동할 수있는 동력, 프로그래밍 가능한 플랫폼입니다. 이 툴에는 사용자 정의 및 반복성을 위한 자동 설정 (automated setup) 을 설계할 수 있는 소프트웨어 패키지도 포함되어 있습니다. 이 소프트웨어를 사용하면 테스트 매개변수 (testing parameters) 와 수집할 이미지와 데이터 유형 (type) 을 선택할 수 있습니다. 또한 기본 제공되는 보안 기능을 통해 사용자는 테스트 결과를 무단 액세스로부터 보호할 수 있습니다 (영문). 자산은 극도의 정확성과 반복성을 위해 만들어졌으며, 가장 어려운 생산 환경에서도 일관된 결과를 유지하기 위해 온도, 습도, 진동, 기타 환경 요인을 일정한 수준으로 유지하는 통합 환경 안전 모델 (Integrated Environmental Safety Model) 을 제공합니다. 이 장비는 또한 광범위한 보정 (calibration) 기능을 갖추고 있으며, 각 매개변수를 개별적으로 수동으로 보정하여 테스트의 정확한 요구 사항에 맞는 특정 매개변수 (parameter) 를 설정할 수 있습니다. 전반적으로 TENCOR 6400 Surfscan System은 정밀 웨이퍼 테스트 및 도량형을 위해 설계된 효과적이고 신뢰할 수있는 장치입니다. 고급 하드웨어, 소프트웨어, 보안, 교정 (calibration) 기능을 결합하여 정확하고 반복 가능한 테스트가 필수적인 모든 환경에 적합한 솔루션이 됩니다.