판매용 중고 KLA / TENCOR 6300 #9394711
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KLA/TENCOR 6300 Wafer Testing and Metrology Equipment는 반도체 제조업체를위한 다양한 물리적 웨이퍼 속성을 측정하는 데 사용됩니다. 이 제품은 다양한 wafer 테스트 및 측정 기능을 제공하는 고정밀 도구입니다. KLA 6300 시스템은 두 개의 통합 하위 시스템을 사용합니다. 첫 번째는 다이 투 다이 이미징 기능으로, 사용자가 웨이퍼의 2D 및 3D 지형을 모두 측정 할 수 있으며, 두 번째는 고해상도 분광형 타원계로 광학 흡수, 굴절률, 표면 거칠기 등 다양한 물리적 특성을 측정 할 수 있습니다. TENCOR 6300 장치의 이미징 기능은 나노 미터 공간 해상도 레벨 내에서 2D 이미지 또는 비디오 정보를 캡처하는 데 사용됩니다. 이를 통해, 맨눈으로 볼 수 없는 높은 수준의 디테일 (detail) 을 캡처하고 분석할 수 있습니다. 이 기계는 또한 웨이퍼 (wafer) 의 3D 이미지를 캡처하여 두께, 스텝 높이 및 기타 임계 레이어 특성을 정확하게 측정 할 수 있습니다. 6300 도구의 분광형 타원계 (spectroscopic ellipsometer) 기능에는 주파수 범위에서 웨이퍼의 반사도, 흡광도와 같은 광학 특성을 250 ~ 2,500 nm 범위에서 측정하는 기능이 포함됩니다. 이렇게 하면 웨이퍼의 두께, 굴절률 및 필름 두께를 결정할 수 있습니다. 또한 KLA/TENCOR 6300은 고정 또는 가변 각도 측정, 편광 조작, 고속 측정 등 다양한 측정 기술을 제공하여 정확하고 반복 가능한 결과를 제공합니다. 또한 KLA 6300 은 강력한 데이터 관리 기능을 제공합니다. 이 기능을 통해 사용자는 다양한 시스템의 데이터를 액세스하고 분석하고, 정보를 사용자 정의 방식으로 저장하고, 사용자 정의 보고서를 손쉽게 작성할 수 있습니다. 이를 통해 웨이퍼 테스트 프로세스를 간소화하고 전반적인 효율성을 향상시킬 수 있습니다. TENCOR 6300 (TENCOR 6300) 은 반도체 제조에서 품질 제어에 적합한 툴로, 연구 및 인라인 (in-line) 프로세스 제어 응용 프로그램 모두에 적합합니다. 6300 의 신뢰성, 정확성, 데이터 관리 기능은 Wafer Testing 및 Metrology 애플리케이션에 이상적인 도구입니다.
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