판매용 중고 KLA / TENCOR 6220 Surfscan #9379353

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ID: 9379353
Wafer inspection system With laser.
KLA/TENCOR 6220 Surfscan은 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 가장 복잡한 패턴의 서피스에서도 결함을 빠르고, 정확하게 감지, 찾기, 특성화하도록 설계되었습니다. KLA 6220 Surfscan은 고해상도 CCD 카메라 및 독점 알고리즘을 사용하여 장치의 전체 표면에 대한 자동 검사 또는 검토를 생성합니다. 시스템의 소프트웨어는 웨이퍼에 나타나는 결함을 감지하고 분석하도록 설계되었습니다. 패턴 인식, 선 너비 측정, ILDTD (inter-level die to die) 비교와 같은 기능을 사용하면 가장 미묘한 결함을 감지 할 수 있습니다. 또한, 자동 검토 및 검사 절차는 허위 긍정의 위험을 크게 줄입니다. TENCOR 6220 Surfscan은 또한 포괄적인 사전 정의 결함을 제공하는데, 이 장치는 허용 가능한 불완전성과 결함 클러스터를 효과적으로 구별하기 위해 사용합니다. 6220 Surfscan은 또한 기계의 성능을 최적화하기 위해 다양한 검사 모드를 제공합니다. 이러한 모드는 특정 웨이퍼 형상 (wafer geometry) 과 평가 중인 피쳐 유형에 맞춰 조정할 수 있습니다. 또한, 공구가 최고 효율로 실행되도록 다양한 매개변수 (예: 설정, 알고리즘 유형) 를 조정할 수 있습니다. KLA/TENCOR 6220 Surfscan의 정확하고 안정적인 결과는 다양한 웨이퍼 테스트 및 도량형 어플리케이션에 이상적인 선택입니다. 제조업체는 자산의 고급 감지 및 분석 (Advanced Detection and Analysis) 기능을 활용하여 웨이퍼의 결함을 빠르고 효과적으로 감지하고 특성화할 수 있습니다. 또한, 자동 검토 (review) 및 검사 절차는 수동 검토의 필요성을 제거하고 결과의 정확성을 향상시킬 수 있습니다. 간단히 말해서, KLA 6220 Surfscan은 웨이퍼의 결함을 식별하기 위해 빠르고, 안정적이며, 비용 효율적인 솔루션을 제공합니다.
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