판매용 중고 KLA / TENCOR 6220 Surfscan #9223462

KLA/TENCOR 6220 Surfscan은 자동화된 고정밀 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비로, 최고 수준의 품질 제어 및 웨이퍼 (wafer) 생산에 적합한 강력하고 반복 가능하며 정확한 결과를 제공합니다. 이 제품은 연구 개발 및 대용량 생산 환경에서 반도체, MEMS, 태양광 응용프로그램을 위해 설계되었습니다. 특히, Surfscan 6220 시스템은 웨이퍼 평면도, 웨이퍼 워 페이지, 웨이퍼에 대한 다이의 임계 크기를 측정 할 수 있습니다. 또한 프로세스 제어, 장치 특성, 장애 분석, 설계/프로세스 최적화를 위한 중요한 보고서와 데이터를 제공합니다. Surfscan 기계는 비전 도구, 스테이지 및 웨이퍼 핸들러로 구성됩니다. 비전 에셋에는 강력한 CCD 레이저 반사 기반 자동 초점 장치 (autofocus unit) 와 강력한 결함 감지 알고리즘이 포함되어 있으므로 측정이 정확하고 반복 가능합니다. 스테이지는 고급 피드백 (advanced feedback) 지형과 고해상도 광학 센서로 구성되며, 웨이퍼 핸들러 (Wafer Handler) 는 비전 모델에서 스테이지로 기판을 빠르게 로드, 언로드 및 이동하여 빠른 측정 시간을 제공합니다. 장비 를 사용 하기 위하여 먼저 "와퍼 '를" 핸들러' 에 적재 하여 시력 "시스템 '에 넣는다. 자동 초점 및 탐지 프로세스 (autofocus and detection process) 후, 웨이퍼는 스테이지에 배치되며, 여기서 일관된 광원으로 스캔됩니다. 반사 된 빛은 추가 분석을 위해 수집되고 청소됩니다. 데이터를 수집하면 알고리즘을 사용하여 평탄도 (flatness), 워 페이지 (warpage) 및 기타 주요 매개변수를 측정합니다. 측정 결과는 wafer topography, critical dimensions 및 기타 중요한 wafer 특성을 포함하는 보고서에 수집됩니다. 또한, 유지 보수 및 보정 루틴은 결과의 일관성 향상을 위해 자동화됩니다. 전반적으로 KLA/Tencore KLA 6220 Surfscan은 사용자가 강력한 반복 가능한 웨이퍼 테스트 및 도량형 데이터를 제공하여 최고의 품질 관리 요구 사항을 충족시킵니다. 신뢰성이 높고, 정확하며, 사용하기 쉽기 때문에 모든 웨이퍼 (wafer) 생산 라인에 뛰어난 추가 기능을 제공합니다.