판매용 중고 KLA / TENCOR 6220 Surfscan #9222541

KLA/TENCOR 6220 Surfscan은 반도체 장치 생산에 사용되는 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 표면 지형, 표면 평평, 포토 마스크 및 웨이퍼 정렬, 오버레이 정확도, 결함 크기, 오염 등 반도체 웨이퍼의 전기 및 물리적 특성을 측정하는 데 사용됩니다. 시스템에는 다음이 포함됩니다: 광학 모듈; 이미지 처리 및 분석 모듈; 스캔 단계; 및 웹 기반 사용자 인터페이스. Surfscan 6220 광학 모듈은 CCD 카메라를 사용하여 웨이퍼의 표면 프로파일 및 계수를 측정합니다. 이 장치는 정확한 결과를 제공하는 자동 교정 루틴 (automated calibration routine) 을 제공하며, 내장 자동 초점 (auto-focus) 기능은 정확한 판독을 위해 서피스에 초점을 유지합니다. 이미지 처리 모듈은 고급 이미지 처리 알고리즘을 사용하여 웨이퍼 전체에서 표면 결함을 감지, 분류, 측정합니다. 자동화된 결함 감지 알고리즘은 몇 나노미터 (nanometer) 정도의 작은 기능을 감지할 수 있으며, 입자, 긁힘 등을 감지 할 수 있습니다. Surfscan 6220 스캔 단계는 웨이퍼를 매우 정확하게 스캔합니다. 동력 Z축을 갖춘 300mm x 300mm 플랫폼을 갖추고 있으므로 최적의 표면 처리를 할 수 있습니다. 스캐너는 CCD 카메라 머신과 웨이퍼를 정확하게 정렬하여 일관되고 정확한 결과를 제공합니다. 웹 기반 사용자 인터페이스 (Web Based User Interface) 는 사용자가 이 도구와 상호 작용할 수 있고 직관적인 방법을 제공합니다. 사용자가 필요할 때 쉽게 액세스할 수 있도록 스캔 프로파일을 만들고 저장할 수 있으며, 보정 (calibration), 스캔 세션 실행 (run scan session), 로그/설정 (access log and settings) 정보와 같은 작업을 수행할 수 있습니다. KLA Surfscan 6220 웨이퍼 테스트 및 도량형 자산은 반도체 웨이퍼를 측정하고 검사하는 신뢰할 수 있고 비용 효율적인 방법을 제공합니다. 매우 정확하고, 사용하기 쉽고, 다양한 기능을 제공하여 최적의 성능을 제공합니다.