판매용 중고 KLA / TENCOR 6220 Surfscan #9213911

KLA/TENCOR 6220 Surfscan은 반도체 제작 및 연구 개발 산업의 요구를 충족시키기 위해 특별히 설계된 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비로, 사용자에게 잠재적 인 프로세스 및 자재 문제를 빠르고 정확하게 식별 할 수있는 기능을 제공합니다. 이 시스템은 광학 및 접촉 기반 도량형 (optical and contact based metrology) 기술을 결합하여 고급 웨이퍼 표면 이미징 기능을 제공하여 사용자가 나노미터 스케일까지 기능을 측정하고 식별 할 수 있습니다. KLA 6220 Surfscan은 리소그래피, 연마 처리, 반사 측정, 에칭, 스핀 코팅 등 다양한 프로세스에서 웨이퍼 지형을 검사하는 데 사용할 수 있습니다. 저전력 (low power), 고정 파장 레이저 (fixed wavelength laser) 를 사용하여 조명 영역에서 이미지 데이터를 캡처하고이 정보를 처리하여 테스트 중인 웨이퍼 (wafer) 의 표면 기능을 식별하는 특허를 받은 2 차원 스캔 기술이 있습니다. TENCOR 6220 Surfscan은 단일 스캔에서 샘플의 거칠기와 윤곽선을 모두 측정할 수 있으며, 피쳐 크기, 모양, 텍스처, 깊이 등 여러 매개변수 유형에 대한 데이터를 제공합니다. 6220 Surfscan에는 오염 없는 운영 환경을 보장하고 최대 처리량을 제공하는 Class 10 clean Room 환경 호환 IVS (Integrated Vision Unit) 가 있습니다. 이 기계는 옵션 KLT-1617 자체 포함 터치 스크린 Windows 기반 소프트웨어를 통해 작동되며, 실시간 피드백은 물론 다양한 자동 측정 기능에 대한 액세스를 제공합니다. KLA/TENCOR 6220 Surfscan은 안정성 향상, 측정 속도 향상, 정확도 향상 등 사용자에게 다양한 이점을 제공합니다. 첨단 측정 기술을 통해 웨이퍼의 전자기 간섭 (electromagnetic interference) 을 감지하여 결함을 식별하는 데 유용한 도구입니다. 또한 KLA 6220 Surfscan은 모듈성이 뛰어나고 업그레이드 가능하므로 필요에 따라 반사계, 현미경, 형광 시스템 등의 구성 요소를 추가 할 수 있습니다. 요약하자면, TENCOR 6220 Surfscan은 고급 고성능 웨이퍼 테스트 및 도량형 (metrology) 툴로, 반도체 제조 및 연구 개발 산업의 구체적인 요구를 충족하는 안정적인 운영 및 모듈성을 통해 빠르고 정확하게 기능을 식별할 수 있습니다. 개발 산업.