판매용 중고 KLA / TENCOR 6220 Surfscan #9213312

KLA/TENCOR 6220 Surfscan은 나노 스케일 (Nanoscale) 의 웨이퍼의 전기 특성을 측정하기 위해 설계된 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비로, 반도체 제조 공정을 정확하게 분석 할 수 있습니다. 표면 결함을 감지하고, 오염 물질을 추적하고, 표면 거칠기 (surface roughness) 와 필름 두께를 측정할 수있는 고급 광학 및 전기 도량형 (electrical metrology) 기능이 장착되어 있습니다. 6220은 6 개의 CCD 카메라로 구성된 매우 민감한 광학 하위 시스템을 갖추고 있습니다. LED 광원 (LED light source) 에 따라 카메라는 샘플과 샘플 서피스 사이의 다른 대비를 캡처할 수 있습니다. 이를 통해 시스템은 전통적인 광학 도량형 (optical metrology) 방법으로 감지 할 수없는 서브 미크론 (sub-micron) 모양과 하위 면 결함을 감지 할 수 있습니다. 카메라는 또한 샘플 표면의 전체 360- 뷰 (360 - view) 에서 데이터를 수집하여 분석의 속도와 정확도를 증가시킬 수 있습니다. 6220에는 ACBM (Automatic Cantilever Beam Measurement) 기술을 사용하는 독점 전기 서브 시스템도 있습니다. 이를 통해 웨이퍼 표면을 통과할 때 서브 피코미터 (sub-picometer) 의 정확도로 전기 신호를 감지하여 표면 지형의 나노 스케일 (nanoscale) 변화를 측정 할 수 있습니다. 또한 Multi-Tap (다중 탭) 기술을 통해 각 측정 지점에서 더 다양한 데이터를 수집하여 정확성과 처리량을 높일 수 있습니다. 또한, 6220 에는 특정 요구 사항에 따라 사용자 지정 도량형 프로그램을 만들 수 있는 독점 소프트웨어 패키지가 포함되어 있습니다 (영문). 이 소프트웨어 패키지는 데이터 분석 (data analysis), 데이터 시각화 도구 (data visualization tools), 자동 보고 기능 등 다양한 기능을 제공합니다. 또한 추적 기능 (Traceability) 기능을 통해 샘플의 수량과 특성을 추적할 수 있습니다. 6220 의 광, 전기, 소프트웨어 기능을 결합하면 나노 스케일의 웨이퍼 기판을 정확하게 분석하고 측정할 수 있습니다. 기계의 고급 도량형 (Advanced Metrology) 기능을 이용하면 작은 규모의 표면 결함을 감지하고 짧은 시간 내에 정확한 측정치를 얻을 수 있으므로 반도체 제조업체에 이상적인 선택이 됩니다.