판매용 중고 KLA / TENCOR 6220 Surfscan #9158312
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판매
ID: 9158312
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 2006
Particle inspection system, 8"
Missing scan motor
2006 vintage.
KLA/TENCOR 6220 Surfscan은 최첨단 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비로, 높은 처리량 데이터 획득, 이미지 형성 및 자동 분석을 결합하여 반도체 웨이퍼의 품질을 신속하게 평가합니다. 이 시스템은 특별히 프로덕션 라인 (production line) 에서 추측할 수 있도록 설계되었으며, 자원과 자원을 확보하여 설계 (design) 와 제품 개발에 더 많은 시간이 소요될 수 있도록 했습니다. Surfscan 6220은 자동화된 FRL (Front-End Loading) 하드웨어를 갖추고 있으며, 이는 생산 라인에 귀중한 자산입니다. 이것으로, 단위는 한 손으로 웨이퍼를 식별하고 로드하며, 이미징 및 테스트에 빠르게 방향을 정할 수 있습니다. 이렇게 하면 "웨이퍼 '를 초당 최대 12 개 의 속도 로 기계 에 공급 할 수 있으므로 처리량 이 대폭 증가 된다. Surfscan 6220의 이미지 형성은 특허 마이크로파 이미징 도구를 통해 수행됩니다. 이를 통해 자산은 웨이퍼 (wafer) 의 지형을 획득하고 최대 1.5 미크론 (micron) 의 코어 해상도로 실시간 이미지를 생성 할 수 있습니다. 이 로 인해, 지표면 에서 미세 한 결함 을 쉽게 발견 할 수 있는데, 그것 은 생산 과정 에서 간과 할 수 있는 것 일 수 있다. Surfscan 6220에는 반도체 웨이퍼 작업을 위해 특별히 설계된 고급 도량형 기능도 있습니다. 여기에는 평평함, 뒤틀림, 높이, 임계 치수, 에치 깊이 등이 포함되며, 모두 실시간으로 정확하게 측정 및 모니터링 할 수 있습니다. 이를 통해 모델은 거의 즉시 프로덕션 라인의 프로세스 변형 또는 이상을 감지할 수 있으며, 이로 인해 생산 결과가 크게 개선 될 수 있습니다. 또한, Surfscan 6220에는 강력한 분석 소프트웨어가 장착되어 있어 데이터를 훨씬 더 쉽고 빠르게 분석하고 해석할 수 있습니다. 이 기능을 통해 장비의 데이터 출력을 토대로 즉시 결정을 내릴 수 있습니다. 즉, 정확하고 적시에 의사 결정을 내릴 수 있습니다. 전반적으로 KLA 6220 Surfscan은 반도체 웨이퍼 테스트 및 도량형을위한 귀중한 도구이며, 강력한 자동화 및 데이터 획득 기능을 통해 웨이퍼 (wafer) 정확도의 막대한 시간 절약 및 향상을 제공합니다. 이 시스템은 현대의 모든 생산 라인에 귀중하며, 운영 효율화, 웨이퍼 품질 향상 (Wafer Quality) 에 도움이 될 것입니다.
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