판매용 중고 KLA / TENCOR 6220 Surfscan #9110913

KLA/TENCOR 6220 Surfscan은 반도체 제작 산업에 사용되는 최첨단 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 6220 은 고해상도 광학 현미경 (optical microscopy) 과 간섭계 (interferometric) 기술을 사용하여 반도체 웨이퍼 표면의 결함을 감지, 분석 및 평가합니다. 가장 향상된 결함 감지 및 분류 기능을 제공하는 Surfscan 제품군의 최신 제품으로 프로세스 최적화 (process optimization) 및 품질 관리 (quality control) 에 이상적인 도구입니다. 6220 은 매우 민감 하고 정밀 한 광학 현미경 을 이용 하여 "웨이퍼 '에 표면 형상 의 고해상도" 이미징' 을 사용 한다. 또한, 표면 높이와 그라디언트를 측정하기 위해 WSI (wavelength scanning interferometry) 가 통합됩니다. 통합 시스템은 다중 모드 도량형을 사용하여 동시 WSI, VSI (vector scanning interferometry) 및 이미지 빼기 분석을 제공합니다. WSI는 가장 미묘한 표면 지형 기능을 감지하는 반면, VSI는 지형에 대한 더 자세한 3D 측정을 수행합니다. 마지막으로, 이미지 빼기 (Image 빼기) 방법은 웨이퍼의 다른 레이어를 평가하고, 각 레이어가 배치된 후 두 웨이퍼를 비교합니다. 6220 의 고급 소프트웨어 (advanced software) 를 통해 사용자는 무작위로 분산된 결함을 정확하게 찾아 파악하고, 각 웨이퍼의 표면 거칠기를 평가하며, 업계 표준 프로파일에 따라 결함을 분류할 수 있습니다. 또한 감지 및 분류 프로세스를 자동화하는 기능도 지원합니다. 이 장치는 0.2nm에서 20nm 사이의 광범위한 측정 해상도를 통해 매우 정확하고 정확한 분석 결과를 얻을 수 있습니다. 또한, 컴팩트형 및 모듈식 KLA 6220 은 직접 스캐닝 및 이미징 기능을 제공하여 광범위한 비접촉 프로브 (non-contact probe) 구성 및 측정을 지원합니다. 자동, 듀얼 스테이지 웨이퍼 변환 머신은 높은 반복성을 위해 정확한 위치 지정 및 스테이지 제어를 보장합니다. 또한 확장된 동적 범위 (dynamic range), 더 긴 배터리 수명, 더 큰 웨이퍼 용량, 향상된 열 관리 자산 등을 제공하여 성능과 정확도를 높일 수 있습니다. 전체적으로 KLA 6220 Surfscan은 고급 프로세스 최적화 및 품질 제어에 이상적인 도구입니다. 고급 결함 감지 (Advanced Defect Detection) 및 분류 (Classification) 기능을 제공하여 광범위한 측정 해상도를 지원하며 정확하고 정확한 결과를 제공합니다. 소형 설계, 모듈식, 긴 배터리 수명과 함께 Surfscan 6220은 반도체 장치 생산 및 연구에 이상적인 선택입니다.