판매용 중고 KLA / TENCOR 6220 Surfscan #9103712

KLA / TENCOR 6220 Surfscan
ID: 9103712
Non-patterned surface inspection system GCS/Emulex board.
KLA/TENCOR 6220 Surfscan은 다양한 기판 재료에 대한 정확하고 정확한 결함 감지 및 분석을 위해 설계된 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템은 다양한 웨이퍼 모서리 (wafer edge) 및 지형 유형을 이미징 할 수있는 기능으로 200mm, 300mm 및 더 큰 직경 웨이퍼를 검사 할 수 있습니다. 이 장치는 고급 옵틱 (optic) 과 원형 스캔 경로를 사용하여 3D 이미징 기능을 갖춘 전체 범위의 2D 표면 이미지를 생성합니다. 이 기계는 웨이퍼 재료 (wafer material) 와 마이크로 구조 (micro-structure) 에서 보이지 않는 결함을 감지하여 제조업체가 잠재적인 문제를 파악하고 해결 조치를 시작할 수 있습니다. 이 도구는 고급 이미지 인식 및 분석 알고리즘을 사용하여 결함을 정확하게 감지하고 특성화합니다. 자산에는 디지털 카메라와 정교한 분석 (analysis) 소프트웨어가 장착되어 있어, 상세한 결함 검사 및 분석을 위한 고해상도 (high resolution) 이미지를 제공합니다. KLA 6220 Surfscan에는 고급 자동 초점, 에지 감지 및 개체 감지 기능이 장착되어 있어 장치 등록, 개요, 오버레이 및 중요 치수를 정확하고 반복적으로 측정 할 수 있습니다. 이 모델을 통해 손쉽게 검토하고 결과를 종합적으로 보고할 수 있습니다. 즉, 제조업체에 필요한 프로세스 (process) 및 설계 (design) 변경 정보를 제공함으로써 수익률을 극대화할 수 있습니다. 이 장비는 매우 높은 처리량, 생산성 향상, 주기 시간 단축, 탁월한 성능, 정확성을 제공합니다. 이 시스템은 전체 웨이퍼 프로파일을 모델링하고 사용자에게 다양한 기능 (예: 1 - 20 GHz 주파수 범위 프로파일링, 정확도, 검사 속도, 결함 적용 범위 조합) 을 제공합니다. TENCOR 6220 Surfscan (Surfscan) 은 강력한 웨이퍼 테스트 및 도량형 장치이며, 오늘날 반도체 산업의 성공에 중요한 제조 공정의 필수 부분입니다. 이 제품은 다른 어떤 기계와도 일치할 수 없는 정확도, 속도, 정확성을 제공하며, 반도체 시장의 갈수록 늘어나는 요구를 충족시키도록 설계되었습니다.
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