판매용 중고 KLA / TENCOR 6220 Surfscan #9084445

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ID: 9084445
빈티지: 1996
Inspection system Currently installed in cleanroom 1996 vintage.
KLA/TENCOR 6220 Surfscan은 반도체 장치 제조를위한 강력하고 정교한 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 다양한 데이터 기반 이미징, 검사, 도량형 기능을 제공할 수 있습니다. KLA 6220 Surfscan은 광학, 전기 및 음향 검사 기능의 다양한 조합을 제공합니다. 모든 생산 단계에서 프로토 타입에서 프로덕션, 테스트 후 (post-test) 에 이르기까지 다양한 샘플 유형을 지원합니다. TENCOR 6220 Surfscan 시스템은 종합적인 프로세스 제어, 장애 감지를 통한 수익률 손실 방지, 품질 최적화를 위해 설계되었습니다. 고감도, 정확한 위치 지정, 다양한 Probing 기능이 있습니다. 통합 이미지 처리 (Integrated Imaging) 기능을 통해 완벽한 시각적 데이터 수집 (Visual Data Collection) 및 웨이퍼 수준에서 다양한 자료를 정확하게 인식할 수 있습니다. 이 장치는 25nm 정도의 얇은 레이어를 검사하고, 프로세스 제어를 위한 중요한 데이터를 제공할 수 있습니다. 6220 Surfscan에는 스캔 및 도량형을위한 고정밀 하드웨어가 장착되어 있습니다. 저각도 감지 (low-angle light detection) 에 최적화된 자동 도구 모음과 고각도 이미지 처리를 위한 광학 현미경을 사용합니다. 또한, 기계 는 음향 현미경 을 이용 하여 "마이크로 '와" 나노스케일' 의 물질 과 결함 을 분석 할 수 있다. 이 툴은 자동 처리량을 위한 초고속 스캐닝 (Scanning) 및 웨이퍼 (Wafer) 식별과 다양한 데이터 분석 및 보고 기능을 제공합니다. 또한 KLA/TENCOR 6220 Surfscan은 다양한 수동/자동 테스트 기능을 제공하며, 오류 수정 및 수정 체계에 대한 반복 가능한 측정 및 기능을 제공합니다. 유연성 있는 아키텍처를 통해 사용자 지정 (custom) 옵션을 추가하여 특정 사이트 및 프로세스 요구 사항을 충족할 수 있습니다. KLA 6220 Surfscan 은 다양한 애플리케이션/환경 요구 사항을 충족하도록 설계되었으며, 제조 환경에 통합되거나 Wafer/Part 분류를 위해 단독으로 운영될 수 있습니다. 특히 마이크로일렉트로닉스 (microelectronics) 와 관련 산업에 대한 정확하고 안정적인 검사 결과와 프로세스 최적화를 제공하도록 설계되었습니다. 이 자산은 48 "웨이퍼 (wafer) 크기 (최대 8") 를 지원하며, 다양한 옵션을 통해 고객별 프로세스의 요구를 충족하도록 구성됩니다. 또한, 이 모델은 세계적 수준의 기술 지원 및 지원 서비스를 통해 지원됩니다.
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