판매용 중고 KLA / TENCOR 6220 Surfscan #9054310
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KLA/TENCOR 6220 Surfscan은 반도체 제조업체를위한 최첨단 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 첨단 이미징 기술, 정교한 도량형 알고리즘 개발, 고급 데이터 분석 (Advanced Data Analysis) 기능을 활용하여 매우 높은 해상도로 웨이퍼를 정확하게 측정하고 분석합니다. Surfscan의 자동 광학 검사 (optical inspection) 및 도량형 (metrology) 기술은 높은 정밀도 결과를 제공하는 동시에 처리량을 증가시킵니다. 고해상도 카메라와 2 개의 광학 이미징 렌즈와 함께 자동 비전 시스템이 있습니다. 이렇게 하면 Surfscan이 각 웨이퍼에 대한 세부 뷰 (detailed view) 를 얻고 서피스 피쳐를 측정할 수 있습니다. 이 장치는 스크래치, 크랙 (cracks) 및 기타 결함 피쳐를 포함하여 웨이퍼 내에서 결함을 감지 할 수 있습니다. 또한 텍스처, 반사도, 서피스 거칠기, 컨투어 및 기타 피쳐와 같은 서피스 특성을 측정할 수 있습니다. 서프 스캔 (Surfscan) 은 웨이퍼 표면의 3D 맵을 제공하여 다른 방법으로 찾기 어려운 이상과 결함을 식별할 수 있습니다. 이 기계는 또한 고속 이미지 데이터 획득 및 분석 도구를 갖추고 있습니다. 이를 통해 데이터를 빠르고 정확하게 수집하고 측정 할 수 있습니다. 또한 대량의 데이터를 저장하고 분석 할 수 있습니다. 서핑 스캔 (Surfscan) 에는 또한 정교한 도량형 알고리즘이 포함되어 있어 웨이퍼 표면에서 매우 작은 결함을 감지하고 식별 할 수 있습니다. 이러한 알고리즘은 가능한 가장 정확한 판독값을 제공하기 위해 개발되었습니다. 마지막으로 자산에는 강력한 데이터 분석 모델도 포함되어 있습니다. 이 장비는 이전 스캔의 데이터를 분석하여 웨이퍼 (Wafer) 의 결함의 전체 그림을 제공 할 수 있습니다. 이 데이터를 사용하여 결함의 정확한 위치와 특성, 잠재적인 근본 원인 (potential root cause) 을 정확히 파악할 수 있습니다. KLA 6220 Surfscan은 고해상도 자동 광학 검사 및 도량형 (metrology) 기능이 필요한 모든 제조업체에 이상적인 시스템입니다. 이 제품은 빠르고 정확한 결과를 제공하는 한편, 상세한 데이터 분석 (Detailed Data Analysis) 기능을 통해 제조업체가 가능한 최고 품질의 웨이퍼를 생산할 수 있습니다.
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