판매용 중고 KLA / TENCOR 6220 Surfscan #9003557

KLA/TENCOR 6220 Surfscan은 반도체 웨이퍼 표면을 검사하도록 설계된 최신 버전의 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템은 고속, 고해상도 이미징 및 측정 단위를 사용하여 결함을 감지하고, 균일성을 보장하며, 중요한 피쳐 매개변수를 측정합니다. 이 기계는 기존 도량형 장비 (Metrology Equipment) 에서 채택되었으며, 높은 정확도를 유지하면서 안정성을 향상시키고 비용을 절감하는 기능이 추가되었습니다. 이미징 도구는 3차원 (3D) 이미징의 최신 고급 기능을 사용하여 브라이트필드 (brightfield) 및 다크필드 (darkfield) 모드에서 웨이퍼 표면의 빠르고 상세한 이미지를 캡처합니다. 또한 정확한 측정을 사용하여 결함을 식별하며, 1 나노 미터보다 더 나은 내성을 갖습니다. 에셋은 또한 자동 교정 (automatic calibration) 및 정렬 (alignment) 을 제공하여 서피스 피쳐를 측정하는 동안 웨이퍼가 정렬되고 안정적으로 유지되도록 합니다. 또한 다양한 조정 가능 매개변수 (Adjustable parameter) 를 제공하여 다양한 응용 프로그램의 이미징 및 측정 기능을 최적화할 수 있습니다. 이 모델은 또한 정교한 소프트웨어와 대화식 (interactive) 기능을 제공하여 사용자가 테스트 절차를 사용자 정의할 수 있도록 합니다. 제어 프로그램을 사용하면 노출 시간 (Exposure Time), 광학 필터 (Optical Filter) 및 FocusMode (FocusMode) 를 미리 설정하여 이상적인 측정 결과를 얻을 수 있습니다. 사용자는 이미지를 분석하여 특정 결함 (예: 스크래치, 피팅, 슬립 스티칭) 을 식별할 수도 있습니다. 또한, Surfscan 6220에는 수동 비접촉 프로파일링을위한 특수 소프트웨어 모듈이 포함되어 있으며, 이 모듈은 결과를 시각적 (visual) 또는 스프레드시트 (spreadsheet) 형식으로 처리하기 자동화합니다. 또한, 이 모듈에는 고밀도 결함 맵 (Defect Map) 기능이 포함되어 있어 사용자가 웨이퍼의 결함 피쳐를 신속하게 식별하고 크기를 조정할 수 있습니다. KLA 6220 Surfscan은 웨이퍼 제조 공정이 정확하고 안정적인 결과를 얻도록 최신 기술로 설계되었습니다. 첨단 이미징/측정 기능, 대화형 기능, 정교한 소프트웨어 등으로 인해 경쟁사 제품보다 우위를 점하게 되었습니다.