판매용 중고 KLA / TENCOR 6220 Surfscan #293602408

KLA/TENCOR 6220 Surfscan은 아트 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비의 상태입니다. 결함 검토, 리소그래피/에치 모니터링, 필름 측정, 오버레이 검사 등 다양한 어플리케이션을 위해 설계되었습니다. 이 시스템은 최신 모션 (motion) 및 이미징 시스템 (Imaging System) 을 탑재하여 높은 수준의 정확도와 정확도에 도달할 수 있습니다. KLA 6220 Surfscan은 고속 6축 스캔 플랫폼을 특징으로하며, 매우 정밀한 웨이퍼 스테이지 이동을 위해 쿼드 레벨 DSP를 제어합니다. 고속 스캐닝 (High Speed Scanning) 및 다양한 모션 기능을 통해 뛰어난 반복 가능한 스캔을 제공하여 더 나은 수익률 검증이 가능합니다. 이 장치에는 고해상도 컬러 카메라 (각각 고유한 시야를 가진) 를 포함한 KLA 고급 이미징 기능이 통합되어 있습니다. 이 기계는 0.25micron CD 정확도로 최대 6-10mil diepad를 검사 할 수 있으며, 결함 크기와 모양을 2 미크론까지 감지 할 수 있습니다. 이 도구는 또한 고해상도 레이저 빔 편향 및 스캐닝 라인 프로파일링을 지원하며, 20m에 이르는 뛰어난 해상도를 제공합니다. 이 자산은 AAS (Active Area Scans) 를 통합하여 고해상도 수율 데이터, 이중 패턴 및 3D 결함 정보를 표시하고 AOI (Automated Optical Inspection) 에 대한 광범위한 기능을 제공합니다. 또한 LED (Leading Edge Diffraction), 화학 식별 및 이미징, 이미징 없는 화학 식별 (CIWI) 및 중요한 CD 및 3D 바 구조의 중요한 기능에 대한 도량형 기능을 통합합니다. TENCOR 6220 Surfscan 모델은 유연성과 프로세스 균일성을 향상시키기 위해 모듈식이며 사용자가 구성할 수 있습니다. 평면 패널 디스플레이, 자동 환경 제어, SPC 개방형 아키텍처, 맞춤형 솔루션, 데이터 분석 솔루션 등 다양한 적응형 하드웨어/소프트웨어 옵션이 제공됩니다. 6220 Surfscan은 프로세스 제어를 개선하고 다양한 반도체 치수, 결함 레벨, 프로세스 매개변수를 검사하도록 설계되었습니다. 이 제품은 칩 품질을 유지하고 디바이스 수명주기를 확장하는, 안정적이고 비용 효율적인 방법입니다.