판매용 중고 KLA / TENCOR 6220 Surfscan #139951
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판매
ID: 139951
웨이퍼 크기: 4" - 8"
빈티지: 1996
Inspection system, 4" - 8"
Specifications:
Sensitivity:
0.09 ㎛ at > 80% Capture rate
( latex spheres on bare silicon )
Throughput: 100 wph ( 200mm wafers ) at 0.12㎛
Repeatability: Within 0.5% δ ( Mean count >500, 0.364㎛ diameter latex spheres
Illumination:
Source: 30mW Argon-Ion Laser, 488nm
Sample Sizes : 100mm to 200mm ( smaller sizes upon request ) round or square samples
Configuration:
Wafer Size: 100mm ~ 200 mm
Power: 208V, 17A, 1Phase,60Hz
Main Frame:
CRT Monitor
Keypad
Mouse
FDD
Cassette plate
System Controller Card Cadge
. Slot 1 Video Card
. Slot 2 N/A
. Slot 3 CPU Board
. Slot 4 Timing Generator Board
. Slot 5 Haze Separator Board
. Slot 6 Particle Area Processor Board
. Slot 7 N/A
. Slot 8 GPIO Board
. Slot 9 Motor Controller Board
. Slot 10 SECS Board
. Slot 11 Ethernet Card
. Slot 12 N/A
. Slot 13 N/A
HDD ( -2-EA )
Laser Power Supply
Uniphase Laser ( 2214-30SLT )
Mainn Cucirt Breaker
Cassette Plate
Currently stored in a warehouse
1996 vintage.
KLA/TENCOR 6220 Surfscan은 자동화된 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비로, 반도체 웨이퍼를 보다 빠르고 안정적으로 처리할 수 있도록 설계되었습니다. 표면 및 서브 표면 필름 두께, 평평, 표면 질감, 피크 투 밸리, 표면 반사도 및 불완전성의 존재를 포함한 다양한 웨이퍼 매개변수를 측정 할 수 있습니다. 이 시스템은 3 차원 저전력 조명 감지 헤드를 사용하여 시간당 최대 20 개의 웨이퍼를 측정 할 수 있습니다. KLA 6220 Surfscan 장치는 내구성, 부식 내성 주택으로 구성되어 있으며, 가장 어려운 측정을 안정적으로 처리하도록 설계되었습니다. 시스템의 구조는 모듈식 (modular) 으로, 사용자의 요구에 맞게 유연하게 구성할 수 있습니다. 또한 고급 하드웨어 및 소프트웨어 구성 요소를 사용하여 고정밀 측정을 보장합니다. 이 도구는 짧은 피치 간섭 (short pitch interference) 의 광학 원리를 통해 작동하며, 여기서 진공 생성 된 레이저 빔 간섭은 분석을 위해 광검출기에 반사하기 전에 웨이퍼의 지하 층 (subsurface layer) 을 조사합니다. 이는 최대 5 nm 의 정확도로 서피스 및 서브 표면 필름 두께를 측정할 뿐만 아니라 웨이퍼 (wafer) 의 표면 아래 (surface) 를 포함하여 결함을 검사합니다. 자산의 그래픽 사용자 인터페이스 (Graphical User Interface, GUI) 는 직관적이며 사용자에게 실시간 측정의 다양한 메트릭을 제공합니다. 그런 다음 이 정보를 피드백 (feedback) 으로 사용하여 wafer 구성 프로세스의 매개변수 설정 및 성능에 대한 정보를 얻을 수 있습니다. TENCOR 6220 Surfscan은 다양한 운영 환경에 적합한 자동화된 강력한 웨이퍼 테스트 및 도량형 모델입니다. 이 제품은 여러 대의 웨이퍼를 동시에 더 빠르고, 더 안정적이며, 보다 정확하게 테스트하여 프로세스 시간을 줄이고, 제품 품질을 향상시키도록 설계되었습니다. 따라서 효율적이고, 안정적이며, 비용 효율적인 Wafer Testing 솔루션을 원하는 고객에게 이상적인 솔루션입니다.
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