판매용 중고 KLA / TENCOR 6210 Surfscan #9412434

KLA/TENCOR 6210 Surfscan 기계는 반도체 산업에 사용되는 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 시스템은 서피스의 균일성 (uniformity of surfaces) 및 미크론 범위의 기하학적 매개변수 (geometrical parameters) 와 같은 웨이퍼에 대한 중요한 프로세스 세부 정보를 정확하게 측정 할 수 있습니다. 즉, 디바이스 구성 초기 단계에서도 이러한 매개 변수에 대한 정확한 데이터를 수집하여 프로세스 속도 (process speed) 와 충실도 (fidelity) 를 보장할 수 있습니다. KLA 6210 Surfscan은 고해상도 삼각 측량 기반 광학 도량형 기술을 사용하여 전체 웨이퍼 및 다이 내 속성을 모두 매우 정확하게 측정합니다. 이 장치는 비접촉, 높은 처리량, 반복 가능 및 신뢰할 수 있는 작동을 위해 설계되었습니다. 기계 의 측면 주사 기능 과 고화질 "카메라 ', 광학" 카메라' 및 조명계 덕분 에 기계 에 의해 생성 되는 판독 값 의 정확성 이 보장 된다. 또한, 이 기계는 사용자 개입 없이 다양한 도량형 (metrology) 측정을 쉽게 수행할 수 있는 유연성을 제공합니다. 최고 정확도를 측정하기 위해 TENCOR 6210 Surfscan은 레이저 간섭 도구로 설계되었습니다. 이 자산은 0.1 나노미터 (0.1 나노미터) 의 작은 웨이퍼 표면에서 매우 작은 변화를 측정 할 수 있습니다. 스캐닝 속도도 조정이 가능하며, 탁월한 정확도를 유지하면서 0.25에서 7mm/s까지 다양합니다. 따라서 빠르게 움직이는 웨이퍼 서피스를 측정하는 것이 더 편리합니다. 모델에서 수집한 데이터는 각종 반도체 프로세스의 특성· 최적화, 자동화된 결함 분류 (automated defect classification) 에 사용된다. 장비의 판독값은 장애 분석 (failure analysis) 을 가능하게 하며, 이를 통해 프로세스 흐름을 개선하고 비용을 절감할 수 있습니다. 또한 6210 Surfscan (Surfscan) 은 쉽게 연결할 수 있도록 설계되어 데이터를 쉽게 조작할 수 있도록 다른 시스템과 통합할 수 있습니다. 이 시스템에는 직관적인 워크플로를 제공하는 사용자 친화적 인 소프트웨어 인터페이스도 있습니다. 결론적으로, KLA/TENCOR 6210 Surfscan 웨이퍼 테스트 및 도량형 시스템은 장치 제작의 초기 단계에서도 웨이퍼 표면을 정확하고 안정적으로 측정 할 수있는 강력한 도구입니다. 기계 에는 또한 "웨이퍼 '표면 의 아주 작은 변화 를 정확 하게 측정 할 수 있는" 레이저' 간섭 장치 가 들어 있다. 또한 간편한 접속성 (Connectivity) 및 사용자 친화적 (User-Friendly) 소프트웨어 인터페이스를 통해 다른 시스템과 쉽게 통합하고 수집된 데이터를 활용할 수 있습니다.