판매용 중고 KLA / TENCOR 6200 #293610590

KLA/TENCOR 6200은 반도체 산업을 위해 설계된 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 자동화된 Critical Dimension 측정 및 광학 검사로 탁월한 정확성과 반복성을 제공합니다. KLA 6200은 완전히 자동화된 XYZ 선형 드라이브가 장착 된 매우 정밀한 간섭 현미경을 포함하여 고급 광학 기술을 사용합니다. 이 드라이브를 사용하면 좌표, 피쳐 높이, 오버레이 및 임계 치수를 정확하게 측정할 수 있습니다. 이 시스템에는 고출력 레이저 광원과 고해상도 수직 및 측면 스캔도 포함됩니다. 이러한 기능의 조합은 매우 정확한 측정 및 반도체 구조의 정량적 분석을 가능하게합니다. 또한 TENCOR 6200에는 자동 결함 감지 및 분류를 제공하는 고급 인텔리전스 패키지 (Advanced Intelligence Package) 가 장착되어 있습니다. 이 강력한 기술은 비대칭, 불규칙한 형상, 과도한 높이 및 기타 일반적으로 발생하는 결함의 인스턴스를 정확하게 식별 할 수 있습니다. 6200에는 웨이퍼 테스트 기능도 포함되어 있습니다. 온라인 4 포인트 프로브, CDC (칩 종속 특성) 및 SOT (테스트 스캔) 를 포함한 다양한 자동 테스트 방법을 제공합니다. 이 장치는 가장 높은 수준의 반복성 (repeatability) 과 감도 (sensitivity) 로 빠르고 정확한 장치 특성 측정을 제공합니다. 또한 KLA/TENCOR 6200은 향상된 웨이퍼 검사 기능을 제공합니다. 결함 분류, 미세한 결함 감지, 패턴 등록 분석, 자동 플랫 필드 포커스 (flat field focus) 등 반도체 결함의 자동 특성을 제공합니다. 요약하면, KLA 6200은 반도체 도량형 및 웨이퍼 테스트를위한 고급 기계입니다. 이 제품은 정밀도 측정, 자동 결함 식별, 다양한 wafer 테스트 기능 등 향상된 광 기술 및 자동 인텔리전스 (Automated Intelligence) 기능을 제공합니다. 이 툴은 반도체 제조업체에 품질 보증 및 프로세스 제어를 위한 신뢰할 수 있는 비용 효율적인 솔루션을 제공합니다 (영문).