판매용 중고 KLA / TENCOR / PROMETRIX 6200 Surfscan #9351406

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ID: 9351406
웨이퍼 크기: 6"-8"
빈티지: 1995
Inspection system, 6"-8" 1995 vintage.
KLA/TENCOR/PROMETRIX 6200 Surfscan은 반도체 웨이퍼의 물리적 특성을 측정하는 데 사용되는 최첨단 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 신뢰할 수있는 시스템은 고해상도 이미징 기능과 광학 검사 기능을 모두 제공합니다. 이 장치는 리소그래피, 에칭 및 화학 증착을 포함한 웨이퍼 프로세스를 모니터링하는 데 이상적입니다. 특히 트랜지스터, 다이오드, 기타 컴포넌트와 같은 나노 스케일 장치의 특성을 테스트하는 데 유용합니다. 정확성을 보장하기 위해 KLA 6200 Surfscan 머신에는 웨이퍼 (wafer) 지형에서 가장 작은 변형을 감지 할 수있는 고성능 광학 검사 기능이 장착되어 있습니다. 마찬가지로, 고급 이미징 시스템은 제조 공정에 사용되는 다른 재료를 구별 할 수 있습니다. 이 도구에는 고해상도 도량형 시스템 (high-resolution metrology system) 이 장착되어 있어 웨이퍼 특성을 정확하게 측정 할 수 있습니다. 이러한 측정에는 핀홀 크기, 선폭, 두께, 결함 레벨 및 서피스 거칠기가 포함됩니다. 이 자산은 완전하게 자동화된 측정 모델을 제공하여 기술자가 웨이퍼를 신속하게 검사, 분석, 처리할 수 있도록 합니다. 또한 TENCOR 6200 Surfscan 장비에는 강력한 사용자 친화적 인 인터페이스가 있어 기술자가 쉽게 결과를 보고 모니터링할 수 있습니다. 또한, 이 시스템은 다양한 소프트웨어 솔루션을 지원하므로 기술자가 데이터를 빠르고 효율적으로 저장, 업데이트할 수 있습니다. 전체적으로 6200 Surfscan은 고급 반도체 응용 프로그램을위한 이상적인 웨이퍼 테스트 및 도량형 장치입니다. 고정밀 광학 검사 및 이미징 기능, 고급 도량형 시스템 (Advanced Metrology System), 강력한 사용자 친화적 인터페이스 (User-Friendly Interface) 를 갖춘 이 기계는 모든 반도체 제조 시설에 귀중한 자산입니다.
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