판매용 중고 KLA / TENCOR 6200 Surfscan #9303158

ID: 9303158
웨이퍼 크기: 4"-8"
빈티지: 1995
Non-pattern surface inspection system, 4"-8" PSL Calibration Defect sensitivity: 0.1 Micron (PSL STD) Haze sensitivity: 0.02 PPM Haze resolution: 0.002 PPM Accuracy within 1% XY Coordinates Lock down accessories Blower assembly Ar-Laser: 30mW Power supply: 208V, 60Hz, 17A 1995 vintage.
KLA/TENCOR/PROMETRIX 6200 Surfscan은 다양한 연구 및 생산 응용 프로그램을 위해 설계된 정교한 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 파퍼 (wafer) 표면의 크기, 모양, 깊이를 비교할 수 있는 탁월한 정확도, 반복 가능한 결과를 제공합니다. 이 시스템은 혁신적인 듀얼 빔 레이저 간섭계를 사용하여 나노 미터 수준의 해상도로 전기 광학 측정을 제공합니다. 구덩이, 범프, 긁힘, 부식, 단계, 굴 및 기타 불규칙성과 같은 기능을 나노 미터 수준의 세부 사항으로 측정 할 수 있습니다. 이 장치는 밀리초 단위의 웨이퍼 (wafer) 표면에 있는 피쳐의 깊이, 크기, 모양을 결정하는 자동 통과/실패 (pass/fail) 평가 기능을 제공하여 효율적인 워크플로우 및 시간 절약 결과를 제공합니다. KLA 6200 Surfscan은 고속 작동을 위해 설계되었으며, 몇 초 안에 전체 웨이퍼 스캔이 가능합니다. 이 제품은 다양한 하드웨어/소프트웨어 (하드웨어/소프트웨어) 툴을 갖추고 있으며, 이를 통해 데이터를 신속하게 분석할 수 있습니다. 이 시스템에는 호스트 PC, VME 기반 컨트롤러 보드 및 Surfscan 5200 온도 제어 웨이퍼 검사 챔버가 포함됩니다. 또한 최소 수동 입력으로 정확한 결과를 제공하도록 설계된 고급 이미징 (Advanced Imaging) 및 분석 (Analysis) 알고리즘도 포함되어 있습니다. TENCOR 6200 Surfscan은 또한 자동 스캔 기능을 제공하여 넓은 지역을 빠르게 스캔 할 수 있습니다. 또한 광범위한 이미지/데이터 분석 (Image Analysis) 기능을 통해 정보를 실시간으로 손쉽게 검토하고 분석할 수 있습니다. 이 툴은 업계 표준 CAD 시스템 및 도량형 소프트웨어 패키지 (metrology software package) 와 호환되며, 이를 통해 데이터와 결과를 기존 제품 및 서비스에 쉽게 통합할 수 있습니다. PROMETRIX 6200 Surfscan은 오늘날 시장에서 사용할 수있는 최고의 웨이퍼 테스트 및 도량형 시스템 중 하나로 평가됩니다. 속도, 정확성, 반복성의 조합으로 다양한 연구 및 생산 응용 분야에 이상적인 자산이 됩니다. 첨단 하드웨어/소프트웨어 기능을 통해 수작업 (manual input) 을 최소화하면서 정확하고 안정적인 결과를 얻을 수 있습니다. 이것은 6200 Surfscan을 웨이퍼 검사를위한 최고의 선택으로 만듭니다.
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