판매용 중고 KLA / TENCOR 6200 Surfscan #293831075

KLA/TENCOR/PROMETRIX 6200 Surfscan은 워퍼 테스트 및 도량형 장비로, 탁월한 정확도, 속도 및 성능으로 고급 도량형 및 결함 검토를 가능하게합니다. 업계에서 가장 정확하고 정확한 시스템입니다. KLA 6200 Surfscan은 초고해상도 충전 결합 장치 카메라와 전용 맞춤형 빔 칼럼 옵틱 모듈을 사용하여 전례없는 웨이퍼 검사, 결함 감지 및 특성, 측정 정확도 및 일관성을 제공합니다. 이 장치는 또한 최고 10 µm/s 이상의 속도를 가진 매우 빠른 스캐너를 갖추고 있습니다. 또한 직경이 최대 12 인치인 웨이퍼를 수용 할 수 있습니다. TENCOR 6200 Surfscan은 광학 도량형, 결함 검토 및 도량형 안정성 분석과 전례없는 정확성, 정확성 및 반복 가능성을 고유하게 결합합니다. 이 고도의 고급 머신은 선 너비, 공간 너비, 패드 (pad) 및 경유 지름, 선 모서리 거칠기 (line edge roughness) 등 평면 및 패턴 서피스에서 다양한 피쳐의 중요한 치수를 측정할 수 있습니다. 또한 결함 및 입자 분석을위한 강력한 이미징 기능, 결함 특성 및 분류를위한 고급 소프트웨어 (advanced software) 를 갖추고 있습니다. PROMETRIX 6200 Surfscan의 고급 알고리즘은 3D 광학 거칠기 측정, 입자 분석 (표면 오염 물질) 및 엄격한 인라인 검사 요구 사항을 포함한 여러 가지 주요 기능을 지원합니다. 이 도구는 또한 스트립 및 격자 측정, 3D 선 프로파일 측정, 패턴 웨이퍼 분석, 기본/고급 결함 검토 등 다양한 테스트 측정을 제공합니다. 전반적으로, 6200 Surfscan은 정확하고 정확한 웨이퍼 테스트 및 도량형이 필요한 제조업체에 적합한 선택입니다. 강력한 스캐닝 기능 (Scanning Capability), 이미징 기능 (Imaging Capability), 고급 알고리즘 (Advanced Algorithm) 을 통해 다양한 측정 및 결함 검토가 가능하므로 다양한 애플리케이션에 이상적인 자산입니다.