판매용 중고 KLA / TENCOR 6200 Surfscan #293827087

KLA / TENCOR 6200 Surfscan
ID: 293827087
빈티지: 1992
Inspection system 1992 vintage.
KLA/TENCOR SFS 6200은 반도체 제조 공정에 관련된 웨이퍼를 검사, 모니터링 및 측정하기 위해 설계된 최첨단 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 안정적이고 효율적인 웨이퍼 테스트 및 도량형 솔루션을 제공하는 고급 (advanced) 기능을 갖추고 있습니다. 시스템의 TrueSpectrum ™ Spectroscopy Technology (TrueSpectrum ™ Spectroscopy Technology) 는 고급 리소그래피 프로세스의 다양한 재료를 포함하여 기판에 대한 빠르고 정확한 스펙트럼 분석을 제공합니다. 이 기술은 금속 유전체 화합물, 다이 투 다이 (die-to-die) 전이와 같은 전통적인 방법을 사용하여 검사하기 어려운 재료를 측정 할 수 있습니다. 이 장치는 또한 정확도로 웨이퍼 검사 프로세스를 자동화하는 고급 View Scan ™ 스캔 메커니즘을 갖추고 있습니다. KLA SFS 6200은 반도체 장치의 제조 공정을 제어하는 데 유용한 공구 (in-process metrology) 기능을 제공합니다. 또한 다양한 이미지 분석 (image analysis) 및 결함 분류 도구 (defect classification tools) 를 통해 프로세스 변형 및 웨이퍼 상태를 추적할 수 있습니다. 작동 측면에서 TENCOR SFS6200 의 Windows- 기반 SOP 소프트웨어는 시스템을 쉽게 구성하고 프로그래밍합니다. 또한 다양한 네트워킹 기능을 제공하여 다른 장치와 프로세스 (process) 에 연결하여 매개변수를 확인하고 분석할 수 있습니다. TENCOR SFS 6200 (TENCOR SFS 6200) 은 현대 반도체 산업의 요구를 충족시키는 신뢰할 수 있고 다양한 웨이퍼 테스트 및 도량형 도구입니다. 고급 기능을 통해 높은 정확도를 측정할 수 있고, 최첨단 리소그래피 (lithography) 시스템에서 프로세스 제어를 개선할 수 있습니다. 이 자산은 제조 공정 (Manufacturing Process) 을 제어하고 값비싼 공정 변동 (Process Variability) 을 없앨 때 반도체 제조업체에 유용한 도구입니다.
아직 리뷰가 없습니다